公开(公告)号：CN101118380B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200710139957.4

申请日：2007-08-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 安藤拓司 ,  小森谷进 ,  荻野雅彦 ,  宮内昭浩

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G11B7/263 ,  B29C33/303 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C43/58 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/043 ,  B29C2043/3602 ,  B29C2043/3634 ,  B29C2043/5833 ,  B29L2011/0075 ,  B29L2017/005 ,  B29L2031/756

Abstract: 本发明是一种压印方法，其特征在于，包括：在调整所述压模和所述被转印体的相对位置时，至少检测2点以上所述被转印体的端部位置，根据检测的端部位置计算任意点的步骤；根据所述压模的端部或形成在压模上的对准标记检测压模的位置的步骤；根据所述任意点和压模的位置调整所述被转印体和所述压模的相对位置的步骤。在压印方法和装置中，不在被转印体设置对准图案，能以高精度把被转印体和压模的相对位置对准。

公开(公告)号：CN101118380A

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200710139957.4

申请日：2007-08-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 安藤拓司 ,  小森谷进 ,  荻野雅彦 ,  宮内昭浩

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G11B7/263 ,  B29C33/303 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C43/58 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/043 ,  B29C2043/3602 ,  B29C2043/3634 ,  B29C2043/5833 ,  B29L2011/0075 ,  B29L2017/005 ,  B29L2031/756

Abstract: 本发明是一种压印方法，其特征在于，包括：在调整所述压模和所述被转印体的相对位置时，至少检测2点以上所述被转印体的端部位置，根据检测的端部位置计算任意点的步骤；根据所述压模的端部或形成在压模上的对准标记检测压模的位置的步骤；根据所述任意点和压模的位置调整所述被转印体和所述压模的相对位置的步骤。在压印方法和装置中，不在被转印体设置对准图案，能以高精度把被转印体和压模的相对位置对准。

公开(公告)号：CN101051183A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200710002263.6

申请日：2007-01-17

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 荻野雅彦 ,  宮内昭浩 ,  安藤拓司 ,  篍野谷千积 ,  小森谷进 ,  早田康成 ,  片桐创一 ,  太田洋一 ,  中山义则

IPC: G03F7/00 ,  G11B5/74 ,  G11B5/82 ,  G11B5/86

CPC classification number: H01L21/76838 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7076 ,  G11B5/855 ,  H01L23/544 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在纳米压印法中，存在像盘基片那样在中心部形成了开口部的基片与模具之间的高精度的位置对准很困难的问题。由于机械接触而引起的位置对准标记损伤所导致的位置对准不良也成为问题。在利用微细的凹凸形状形成了图案的模具上，在2个以上的位置处将用于确定基片和模具之间的相对位置关系的对准标记设置为同心圆形状。另外，还可以通过根据各个标记的位置信息和形状来确定已经破损的标记，之后，除去破损的标记而进行模具和涂布了树脂膜的基片之间的位置对准来解决问题。

公开(公告)号：CN101051183B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200710002263.6

申请日：2007-01-17

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 荻野雅彦 ,  宮内昭浩 ,  安藤拓司 ,  篍野谷千积 ,  小森谷进 ,  早田康成 ,  片桐创一 ,  太田洋一 ,  中山义则

IPC: G03F7/00 ,  G11B5/74 ,  G11B5/82 ,  G11B5/86

CPC classification number: H01L21/76838 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7076 ,  G11B5/855 ,  H01L23/544 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在纳米压印法中，存在像盘基片那样在中心部形成了开口部的基片与模具之间的高精度的位置对准很困难的问题。由于机械接触而引起的位置对准标记损伤所导致的位置对准不良也成为问题。在利用微细的凹凸形状形成了图案的模具上，在2个以上的位置处将用于确定基片和模具之间的相对位置关系的对准标记设置为同心圆形状。另外，还可以通过根据各个标记的位置信息和形状来确定已经破损的标记，之后，除去破损的标记而进行模具和涂布了树脂膜的基片之间的位置对准来解决问题。