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公开(公告)号：CN101614988B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200810128900.9
申请日：2008-06-24
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 本发明提供一种导电图案形成装置，这种工艺配置能够将由于显影剂、清洗液那样的液体材料的逆流、漏液引起的图案或装置内的污染降低成最小限度。在该导电图案形成装置中，使用电子照相方式的导电图案形成装置中的显影/清洗装置配置在比感光体的中心更靠下部的区域，溶剂去除工序配置在感光体沿着上升方向旋转的区域，转印液涂敷/静电转印工序设置在比感光体的中心更靠上部且在感光体沿着下降方向旋转的区域。
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公开(公告)号：CN101102645A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710109595.4
申请日：2007-06-27
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G03G15/1625 , G03G15/224 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G15/6591 , H05K1/0218 , H05K3/102 , H05K3/1266 , H05K3/207 , H05K3/28 , H05K3/386 , H05K2201/0257 , H05K2201/0715 , H05K2203/0143 , H05K2203/0517 , H05K2203/105
Abstract: 在导电图案保持基板的作成中，不提高导电图案的电阻值就使导电图案与其基板的密接强度提高。导电图案形成装置100在电介质薄膜体4的表面上形成了导电图案前体12后，从电介质薄膜体在目的基板23上形成导电图案14。在形成了静电潜像2后，用曝光单元3对电介质薄膜体的上面进行曝光，作成图案。显影装置7对该图案供给导电性粒子分散溶液6，形成导电图案前体。对形成了粘接层22的导电图案保持基板8通电，将导电图案前体暂时转印到导电图案保持基板上。使用加热单元13加热已转印的导电图案前体，形成导电图案。从导电图案保持基板剥离导电图案和粘接层，转印到目的基板上。
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公开(公告)号：CN101114137B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710138350.4
申请日：2007-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H05K3/207 , G03G15/1625 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G2215/00523 , G03G2215/0629 , H05K3/1266 , H05K2203/0517
Abstract: 将由不含树脂成分的导电性粒子形成的导电图案前体，在保持图案形状的状态下以高转印效率将图案转印到对象基板上。作为对使用导电微粒分散液在介电性薄膜体上形成的导电图案前体进行转印的方法，通过一时除去残留在刚显像后的导电图案前体上的液膜后，再在导电图案前体上再供给溶剂从而使导电性粒子图案再带电。然后采用有溶剂存在的电泳的静电转印将图案转印到对象基板上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101114137A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200710138350.4
申请日：2007-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H05K3/207 , G03G15/1625 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G2215/00523 , G03G2215/0629 , H05K3/1266 , H05K2203/0517
Abstract: 将由不含树脂成分的导电性粒子形成的导电图案前体，在保持图案形状的状态下以高转印效率将图案转印到对象基板上。作为对使用导电微粒分散液在介电性薄膜体上形成的导电图案前体进行转印的方法，通过一时除去残留在刚显像后的导电图案前体上的液膜后，再在导电图案前体上再供给溶剂从而使导电性粒子图案再带电。然后采用有溶剂存在的电泳的静电转印将图案转印到对象基板上。
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公开(公告)号：CN100548088C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200680001041.6
申请日：2006-01-25
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G03G9/12 , G03G15/10 , H05K3/1266 , H05K2203/0143 , H05K2203/0517
Abstract: 本发明提供一种不限定基板、不增加电镀等新的工序，工序简便，成本、制造时间、环境负荷小，适应于高生产效率、大面积，图案可容易地改变，使用静电力的导电图案形成装置。本发明的导电图案形成装置具有在介电性薄膜体表面形成静电图案的静电潜像形成装置、向该静电潜像供给接触导电性粒子分散溶液从而显像形成导电图案的显像装置；导电性粒子分散溶液是使表面吸附有离子性有机分子的粒径为100nm以下的导电粒子分散在无极性溶剂中而形成的。
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公开(公告)号：CN101044803A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200680001041.6
申请日：2006-01-25
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G03G9/12 , G03G15/10 , H05K3/1266 , H05K2203/0143 , H05K2203/0517
Abstract: 本发明提供一种不限定基板、不增加电镀等新的工序，工序简便，成本、制造时间、环境负荷小，适应于高生产效率、大面积，图案可容易地改变，使用静电力的导电图案形成装置。本发明的导电图案形成装置具有在介电性薄膜体表面形成静电图案的静电潜像形成装置、向该静电潜像供给接触导电性粒子分散溶液从而显像形成导电图案的显像装置；导电性粒子分散溶液是使表面吸附有离子性有机分子的粒径为100nm以下的导电粒子分散在无极性溶剂中而形成的。
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公开(公告)号：CN101102645B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200710109595.4
申请日：2007-06-27
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G03G15/1625 , G03G15/224 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G15/6591 , H05K1/0218 , H05K3/102 , H05K3/1266 , H05K3/207 , H05K3/28 , H05K3/386 , H05K2201/0257 , H05K2201/0715 , H05K2203/0143 , H05K2203/0517 , H05K2203/105
Abstract: 在导电图案保持基板的作成中，不提高导电图案的电阻值就使导电图案与其基板的密接强度提高。导电图案形成装置100在电介质薄膜体4的表面上形成了导电图案前体12后，从电介质薄膜体在目的基板23上形成导电图案14。在形成了静电潜像2后，用曝光单元3对电介质薄膜体的上面进行曝光，作成图案。显影装置7对该图案供给导电性粒子分散溶液6，形成导电图案前体。对形成了粘接层22的导电图案保持基板8通电，将导电图案前体暂时转印到导电图案保持基板上。使用加热单元13加热已转印的导电图案前体，形成导电图案。从导电图案保持基板剥离导电图案和粘接层，转印到目的基板上。
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公开(公告)号：CN101614988A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200810128900.9
申请日：2008-06-24
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 本发明提供一种导电图案形成装置，这种工艺配置能够将由于显影剂、清洗液那样的液体材料的逆流、漏液引起的图案或装置内的污染降低成最小限度。在该导电图案形成装置中，使用电子照相方式的导电图案形成装置中的显影/清洗装置配置在比感光体的中心更靠下部的区域，溶剂去除工序配置在感光体沿着上升方向旋转的区域，转印液涂敷/静电转印工序设置在比感光体的中心更靠上部且在感光体沿着下降方向旋转的区域。
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