公开(公告)号：CN101627467A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200780051937.X

申请日：2007-03-02

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 宫本玲 ,  佐渡大介 ,  冈本启 ,  松尾英树 ,  西森康博

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。

公开(公告)号：CN101627467B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200780051937.X

申请日：2007-03-02

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 宫本玲 ,  佐渡大介 ,  冈本启 ,  松尾英树 ,  西森康博

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。