公开(公告)号：CN109270906A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201811229527.6

申请日：2014-11-21

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 仓桥孝治 ,  宫本玲 ,  川上敦司 ,  崎元直树

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。

公开(公告)号：CN104681474B

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：CN201410669762.0

申请日：2014-11-21

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 仓桥孝治 ,  宫本玲 ,  川上敦司 ,  崎元直树

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/2602 ,  G05B2219/31286 ,  H01L21/68 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/22

Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。

公开(公告)号：CN109270906B

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201811229527.6

申请日：2014-11-21

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 仓桥孝治 ,  宫本玲 ,  川上敦司 ,  崎元直树

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。

公开(公告)号：CN104681474A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201410669762.0

申请日：2014-11-21

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 仓桥孝治 ,  宫本玲 ,  川上敦司 ,  崎元直树

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/2602 ,  G05B2219/31286 ,  H01L21/68 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/22

Abstract: 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。