折射率测定装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102007392A

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN201080001377.9

    申请日:2010-01-21

    CPC classification number: G01M11/0228

    Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23),由此,利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度,而且,通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度,求出光程长度和几何厚度这两个值,并基于这些值和基准物的计算值,求出被检物的折射率分布。

    角度测定装置及方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101189488A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200680019255.6

    申请日:2006-09-20

    CPC classification number: G01B11/26

    Abstract: 本发明提供一种角度测定装置及测定方法,其以透过型衍射光栅将从准直透镜射出的光衍射为不同次数的光,并将衍射后的光向被测定物的平坦面照射,在由被测定物的平坦面反射后,使再次透过透过型衍射光栅的光在偏离出射光的光轴的位置处成像,基于该成像位置与成像的光的次数,测定被测定物相对于准直透镜的光轴的角度,由此能够具有高分辨率地测定大范围的角度。

    折射率测定装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102007392B

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201080001377.9

    申请日:2010-01-21

    CPC classification number: G01M11/0228

    Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23),由此,利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度,而且,通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度,求出光程长度和几何厚度这两个值,并基于这些值和基准物的计算值,求出被检物的折射率分布。

    测定与光学装置一起使用的光学元件象差的方法和装置

    公开(公告)号:CN1133073C

    公开(公告)日:2003-12-31

    申请号:CN99111149.4

    申请日:1999-07-27

    CPC classification number: G01M11/0271

    Abstract: 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成例如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和-1,+1和-1,或0和±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。

    使用光的缺陷检查方法及其装置

    公开(公告)号:CN1182211A

    公开(公告)日:1998-05-20

    申请号:CN97111442.0

    申请日:1997-05-22

    CPC classification number: G01N21/8903

    Abstract: 本发明是使用光的缺陷检查方法及其检查装置。用由半导体激光一维配置的列状光源和投影透镜在被检查物体上进行强度变化的虚线状照明。用线状传感器通过物镜摄像。接着一边用试样台使被检查物体依序移动一边通过用线状传感器的信号和试样台的信号形成图像的前处理部向图象处理部输入图像信号并进行图象处理,以此可以检测被检查物体上的光学不均匀部分,确认有否裂纹缺陷。以此方法可高精度、高速度地检测陶瓷基板和金属烧结材料等的裂纹缺陷。

    角度测定装置及方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101189488B

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200680019255.6

    申请日:2006-09-20

    CPC classification number: G01B11/26

    Abstract: 本发明提供一种角度测定装置及测定方法,其以透过型衍射光栅将从准直透镜射出的光衍射为不同次数的光,并将衍射后的光向被测定物的平坦面照射,在由被测定物的平坦面反射后,使再次透过透过型衍射光栅的光在偏离出射光的光轴的位置处成像,基于该成像位置与成像的光的次数,测定被测定物相对于准直透镜的光轴的角度,由此能够具有高分辨率地测定大范围的角度。

    光学部件的检查方法以及检查装置

    公开(公告)号:CN1800803A

    公开(公告)日:2006-07-12

    申请号:CN200610005790.8

    申请日:2006-01-06

    CPC classification number: G01M11/0271

    Abstract: 提供一种能够高精度地评价光学部件的性能的检查方法。检查方法中,根据透射光学部件(18)的光(16),形成具有不同相位的第1和第2光(24)、(26),使第1和第2光产生干涉形成干涉区域(30)。在干涉区域(30),设定直线(66)、直线(70)、直线(72),求出各直线(72)上的光强度的分布。而且,求出与最大的光强度对应的频率。进而,根据针对直线(72)各自所求出的多个频率,求出近似直线或者近似曲线。并且,基于近似的直线或者曲线的系数评价光学部件的像差。

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