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公开(公告)号:CN1133073C
公开(公告)日:2003-12-31
申请号:CN99111149.4
申请日:1999-07-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0271
Abstract: 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成例如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和-1,+1和-1,或0和±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。
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公开(公告)号:CN1191967A
公开(公告)日:1998-09-02
申请号:CN98105304.1
申请日:1998-02-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 提供了一种光元件(25),从而移动了入射到基板(7)上的扫描光(32)的光轴,这样,两个光检测器(9)的光检测面的照亮位置彼此相同或几乎相同。从两个光检测器发出的各表面信息信号相应地彼此相同或信号间的差最小,从而使表面检查的测量精度得以提高。
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公开(公告)号:CN100390519C
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN00106255.7
申请日:2000-05-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 透镜的评价方法包括:(a)衍射从透镜射出的光,让不同次数的2个衍射光(例如0次衍射光31和+1次衍射光32)干涉获得共用干涉象50的工序;(b)改变衍射光的相位工序;(c)在共用干涉象中,通过连接2个衍射光的光轴的线段的中点的测线上的多个测点求出光强度变化的相位的工序;(d)以相位为基础求出透镜的特性(散焦量、慧形象差、象散、高阶象差)的工序。
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公开(公告)号:CN1065955C
公开(公告)日:2001-05-16
申请号:CN98105304.1
申请日:1998-02-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/30
Abstract: 提供了一种光元件(25),从而移动了入射到基板(7)上的扫描光(32)的光轴,这样,两个光检测器(9)的光检测面的照亮位置彼此相同或几乎相同。从两个光检测器发出的各表面信息信号相应地彼此相同或信号间的差最小,从而使表面检查的测量精度得以提高。
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公开(公告)号:CN1274839A
公开(公告)日:2000-11-29
申请号:CN00106255.7
申请日:2000-05-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01M11/0271 , G01M11/0228
Abstract: 透镜的评价方法包括,(a)衍射从透镜射出的光,让不同次数的2个衍射光(例如0次衍射光31和+1次衍射光32)干涉获得共用干涉象50的工序、(b)改变衍射光的相位工序、(c)在共用干涉象中,通过连接2个衍射光的光轴的线段的中点的测线上的多个测点求出光强度变化的相位的工序、(d)以相位为基础求出透镜的特性(散焦量、慧形象差、象散、高阶象差)的工序。
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公开(公告)号:CN1244657A
公开(公告)日:2000-02-16
申请号:CN99111149.4
申请日:1999-07-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0271
Abstract: 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和-1,+1和-1,或0或±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。
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