测定与光学装置一起使用的光学元件象差的方法和装置

    公开(公告)号:CN1133073C

    公开(公告)日:2003-12-31

    申请号:CN99111149.4

    申请日:1999-07-27

    CPC classification number: G01M11/0271

    Abstract: 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成例如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和-1,+1和-1,或0和±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。

    用于表面检查的装置和方法

    公开(公告)号:CN1191967A

    公开(公告)日:1998-09-02

    申请号:CN98105304.1

    申请日:1998-02-18

    CPC classification number: G01N21/88 H05K13/08

    Abstract: 提供了一种光元件(25),从而移动了入射到基板(7)上的扫描光(32)的光轴,这样,两个光检测器(9)的光检测面的照亮位置彼此相同或几乎相同。从两个光检测器发出的各表面信息信号相应地彼此相同或信号间的差最小,从而使表面检查的测量精度得以提高。

    用于表面检查的装置和方法

    公开(公告)号:CN1065955C

    公开(公告)日:2001-05-16

    申请号:CN98105304.1

    申请日:1998-02-18

    CPC classification number: G01N21/88 H05K13/08

    Abstract: 提供了一种光元件(25),从而移动了入射到基板(7)上的扫描光(32)的光轴,这样,两个光检测器(9)的光检测面的照亮位置彼此相同或几乎相同。从两个光检测器发出的各表面信息信号相应地彼此相同或信号间的差最小,从而使表面检查的测量精度得以提高。

    测定与光学装置一起使用的光学元件象差的方法和装置

    公开(公告)号:CN1244657A

    公开(公告)日:2000-02-16

    申请号:CN99111149.4

    申请日:1999-07-27

    CPC classification number: G01M11/0271

    Abstract: 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和-1,+1和-1,或0或±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。

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