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公开(公告)号：CN101206110B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710162415.9
申请日：2007-09-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B5/012 , G01B7/012 , G01B11/007 , Y10S33/01 , Y10S33/02
Abstract: 本发明提供一种三维测定探头，能够更高精度地测定非球面透镜等被测物的形状等，实现难以损坏且长寿命、低成本的三维测定探头。安装于小空气轴承部(6)的磁铁(29)和磁轭(8)和安装于小滑动轴部(6)的磁性体销(20)构成磁路，由此产生小滑动轴部(6)的旋转和妨碍轴方向的变位的磁力。由于为非接触的磁力，从而构成无论是自下还是自横向都能够进行测定的三维测定探头。
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公开(公告)号：CN101173854A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710162417.8
申请日：2007-09-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 提供一种三维形状测定装置，通过上下共用形成XYZ坐标的XYZ参照镜(2、3、4)和Z气动滑动导轨部(11)，从而使上下的测定坐标系完全相同。并且，使用衍射光栅(8)将触针(5)的变位检测单元变薄，通过使用滑轮(18)和恒载弹簧(17)使探头的支承部分进一步变薄，使构造简单，实现小型化，制造容易。
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公开(公告)号：CN101886922B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201010176718.8
申请日：2010-05-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B21/20
Abstract: 三维形状测定装置用探测器(1)具备安装用部件(2)、摆动部(3)、连结机构(4)、臂安装部(120)、板簧(9A、9B)。在下端配置有触针(121)的臂(122)在臂安装部(120)上安装成垂下。臂安装部(120)隔着板簧(9A、9B)保持在摆动部(3)上。摆动部(3)通过连结机构(4)连结在安装用部件(2)上，且在水平方向上能够偏斜。由于摆动部(3)的可动侧磁铁(51)与安装用部件(2)的固定侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使摆动部(3)复位到臂(122)沿铅垂方向延伸的中立位置的复位力起作用。铅垂面测定时的测定力通过固定侧磁铁(52)与可动侧磁铁(51)之间的磁吸引力得到。水平面测定时的测定力通过使板簧(9A、9B)在铅垂方向上弯曲得到。
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公开(公告)号：CN101660900B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN200910175503.1
申请日：2007-09-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种三维形状测定装置用测定探头，其具有：激光光源(31)；透镜(14)，其使从所述激光光源发出的激光聚集在与触针(5)一体连结的反光镜(9)上；衍射光栅(8)，其配置在通过该透镜聚光在所述反光镜的反光镜反射面上后、由所述反射面反射的激光的激光光路中，并且为同心圆状，形成在同心圆的中心从所述激光光路偏离的位置；第一光检测器群(34D、34E、34F)，其接收由该衍射光栅生成的正一次衍射光；和第二光检测器群(34A、34B、34C)，其接收由所述衍射光栅生成的负一次衍射光；所述三维形状测定装置用测定探头构成为将所述第一光检测器群和所述第二光检测器群的输出作为聚焦误差信号，并至少内置所述透镜。
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公开(公告)号：CN101886922A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201010176718.8
申请日：2010-05-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B21/20
Abstract: 三维形状测定装置用探测器(1)具备安装用部件(2)、摆动部(3)、连结机构(4)、臂安装部(120)、板簧(9A、9B)。在下端配置有触针(121)的臂(122)在臂安装部(120)上安装成垂下。臂安装部(120)隔着板簧(9A、9B)保持在摆动部(3)上。摆动部(3)通过连结机构(4)连结在安装用部件(2)上，且在水平方向上能够偏斜。由于摆动部(3)的可动侧磁铁(51)与安装用部件(2)的固定侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使摆动部(3)复位到臂(122)沿铅垂方向延伸的中立位置的复位力起作用。铅垂面测定时的测定力通过固定侧磁铁(52)与可动侧磁铁(51)之间的磁吸引力得到。水平面测定时的测定力通过使板簧(9A、9B)在铅垂方向上弯曲得到。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103940366A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410022585.7
申请日：2014-01-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 舟桥隆宪
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种三维形状测定装置用探测器，在测定铅垂面和水平面时测定力均小，难以引起振动。三维形状测定装置用探测器具备：安装于三维形状测定装置的安装部；可摆动地与安装部连结的摆动部；被保持为可相对于摆动部上下移动的臂支承部；向臂支承部的下端下垂且在下端配置有触针的臂。臂支承部相对于摆动部的上下移动机构包括：摆动侧构件、臂侧构件、在磁吸引力的作用下被吸引在摆动侧构件与臂侧构件的对置的铅垂面间而进行接触的5个由磁性体构成的球。球在摆动部侧构件和臂侧构件之间一边接触一边滚动，由此臂支承部在铅垂轴上进行移动。另外，为了在摆动部侧构件与臂侧构件之间作用磁吸引力，相对于臂支承部的铅垂轴上的移动而作用复原力。
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公开(公告)号：CN101839682B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010136354.0
申请日：2010-03-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01B5/012 , G01B7/012 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种形状测定装置用探测器，直动部(6)仅沿竖直方向能够直动地支承在安装部(2)上。摆动部(3)具有在前端设有与测定物(60)的被测定面(61)接触的测头(121)的臂(112)。连结机构(4)通过将摆动部(3)侧的支承部件(42)的尖端嵌入形成于直动部(6)侧的载置台(41)上的槽(41a)中，从而将摆动部(3)相对于直动部(6)能够摆动地连结。通过摆动侧磁铁(51)与非摆动侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使臂(112)朝向竖直方向的作用力作用于摆动部(3)。通过可动侧磁铁(71)与固定侧磁铁(72)之间的磁力，在直动部(3)上作用竖直方向朝上的作用力，从而将直动部(3)相对于安装部(3)沿竖直方向被非接触保持。
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公开(公告)号：CN102401637A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110242010.2
申请日：2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种三维形状测量装置，上面触头(1a)能够利用气动滑块1沿XY方向不振动地扫描测量测量物(7)的上面(7a)，利用第一反射镜(1b)和透镜(2de)还能够精度良好地测量Z坐标，侧面触头(2ia)只在XY方向上能够位移而在Z方向不振动，因此能够扫描测量测量物侧面(7b)，侧面触头(2ia)的Z坐标测量利用所述第一反射镜(1b)的Z坐标测量值，能够更高精度地用倾斜角度测量部(2j)测量侧面触头的XY位移。
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公开(公告)号：CN101322005B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200780000443.9
申请日：2007-05-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01B5/012 , G01B7/012 , G01B11/007
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及设置在该形状测定装置上的形状测定装置用探头，该形状测定装置能够在不采用复杂的装置结构的情况下，不论侧面的倾斜方向如何都可进行形状测定。在形状测定装置用探头中，连接安装用部件(2)和摆动部件(3)的连接机构(4)具有设置在摆动部件(3)上的支点部件(42)和设置在安装用部件(2)上的载置台(41)，且将摆动部件(3)连接成相对于安装用部件(2)可向任意方向倾斜。安装用部件(2)和摆动部件(3)被构成为：设置在摆动部件(3)上的可动侧部件(51)和设置在安装用部件(2)上的固定侧部件(52)彼此在非接触状态下发生磁性吸引力，该磁性吸引力以摆动部件(3)的探杆向铅直方向的方式进行施力。根据该结构，能够测定与Z方向大致平行、向X、Y方向的任意方向倾斜的侧面形状。
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公开(公告)号：CN102401637B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110242010.2
申请日：2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种三维形状测量装置，上面触头(1a)能够利用气动滑块1沿XY方向不振动地扫描测量测量物(7)的上面(7a)，利用第一反射镜(1b)和透镜(2de)还能够精度良好地测量Z坐标，侧面触头(2ia)只在XY方向上能够位移而在Z方向不振动，因此能够扫描测量测量物侧面(7b)，侧面触头(2ia)的Z坐标测量利用所述第一反射镜(1b)的Z坐标测量值，能够更高精度地用倾斜角度测量部(2j)测量侧面触头的XY位移。
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