公开(公告)号：CN101510564A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200910048448.X

申请日：2009-03-27

Applicant: 复旦大学

Inventor： 江安全 ,  马镇

IPC: H01L29/92 ,  H01L29/43

Abstract: 一种基于锆钛酸铅材料的隧道开关，包括：衬底；第一电极，所述第一电极设置于衬底表面；锆钛酸铅材料层，所述锆钛酸铅材料层设置于第一电极远离衬底的表面；介质薄膜层，所述介质薄膜层设置于锆钛酸铅材料层远离第一电极的表面，所述介质薄膜层的材料为高介电常数材料；以及第二电极，所述第二电极设置于介质薄膜层远离锆钛酸铅材料层的表面。本发明的优点在于，采用了高介电常数材料作为介质薄膜层，提高了隧道开关的稳定性和可靠性，更好的满足工业应用的需要。

公开(公告)号：CN101510564B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN200910048448.X

申请日：2009-03-27

Applicant: 复旦大学

Inventor： 江安全 ,  马镇

IPC: H01L29/92 ,  H01L29/43

Abstract: 一种基于锆钛酸铅材料的隧道开关，包括：衬底；第一电极，所述第一电极设置于衬底表面；锆钛酸铅材料层，所述锆钛酸铅材料层设置于第一电极远离衬底的表面；介质薄膜层，所述介质薄膜层设置于锆钛酸铅材料层远离第一电极的表面，所述介质薄膜层的材料为高介电常数材料；以及第二电极，所述第二电极设置于介质薄膜层远离锆钛酸铅材料层的表面。本发明的优点在于，采用了高介电常数材料作为介质薄膜层，提高了隧道开关的稳定性和可靠性，更好的满足工业应用的需要。