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公开(公告)号：CN117572027A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311325470.0
申请日：2023-10-13
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明涉及一种基于高温超导材料YBaCuO7‑x的悬臂梁结构SQUID显微镜及其制备方法，属于超导弱电应用的关键核心技术，涉及到量子磁成像、精密量子测量、高温超导等技术领域。本发明使用高温超导材料YBCO制备SOL扫描显微镜，使针尖SQUID扫描显微镜的工作温度提升到了77K，相比较传统的扫描针尖超导SQUID显微镜工作温度通常在6K以下，本发明突破了对超导相图探索的限制。
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公开(公告)号：CN120009585A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510166321.7
申请日：2025-02-14
Applicant: 青岛哈尔滨工程大学创新发展中心
IPC: G01R3/00 , G01R33/00 , G01R33/035 , G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米激光直写的超导量子磁力仪的制备方法，属于超导量子磁力仪技术领域，本发明提供的基于激光直写的超导量子磁力仪的制造方法，依托于激光直写技术、光刻、刻蚀、电学测试以及噪声测试的综合运用，能够有效提升超导量子磁力仪的性能和制造效率。通过以下技术特征，达到了显著的技术效果：通过激光直写技术，能够实现超导量子磁力仪关键部件(约瑟夫森结)的高精度加工，这种精确的工艺不仅减少了传统光刻工艺中因对准和掩模误差导致的加工误差，还能够在纳米尺度上精确控制材料沉积，提高了超导器件的结构稳定性和电学性能。与传统的刻蚀工艺相比，减少了加工步骤、节省了时间并降低了成本，同时还提高了设计的灵活性，能够快速实现定制化和优化设计。
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公开(公告)号：CN120018767A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510166303.9
申请日：2025-02-14
Applicant: 青岛哈尔滨工程大学创新发展中心
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米激光直写曝光制备纳米线约瑟夫森结的方法，属于微纳米加工技术领域，在基底上沉积超导材料薄膜，在所述超导材料薄膜上均匀旋涂光刻胶，通过光刻曝光、显影，得到含有微桥和电极的光刻胶图案，通过首次刻蚀将所述光刻胶上的图案转移到所述超导材料薄膜上，形成微桥和电极结构，超声清洗，去除残留的光刻胶，在所述超导材料薄膜的图案上再次旋涂光刻胶，通过纳米激光直写光刻对覆盖在超导材料薄膜上的光刻胶进行再次曝光和再次显影，结合激光收缩控制对微桥进行微加工，最后通过再次刻蚀，将纳米线图案从光刻胶结构中转移到超导材料薄膜，形成纳米线约瑟夫森结。本发明通过纳米激光直写技术结合激光收缩控制，实现了纳米线约瑟夫森结的高精度制备。利用激光收缩控制技术，在微桥区域的两侧进行精确的纳米级激光直写，逐步收缩行程中间的纳米线结构。这一过程确保了纳米线的几何尺寸能够精确受控，从而满足特定器件设计需求。激光收缩的应用极大提高了纳米线形态的均匀性和一致性，避免了传统工艺中可能出现的尺寸偏差和不稳定性问题。
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公开(公告)号：CN120018766A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510166249.8
申请日：2025-02-14
Applicant: 青岛哈尔滨工程大学创新发展中心
Abstract: 本发明公开了一种利用激光热效应诱导高温超导约瑟夫森结的方法，属于微纳加工技术领域，包括以下步骤：在衬底表面依次制备高温超导材料层和保护层，在所述保护层的表面进行涂胶、光刻，得到涂有光刻胶的结区和涂有光刻胶的电极区，去除所述结区和电极区以外的保护层和高温超导材料层，去除所述结区和电极区的光刻胶，烘干，通过激光光斑对所述结区的高温超导材料层和保护层进行逼近穿越式辐射，制备得到高温超导约瑟夫森结。本发明通过采用纳米尺寸的激光光斑辐射高温超导体，经过激光光斑的辐射，有效实现了对高温超导体纳米尺度热效应的精准控制而形成势垒，得到高温超导约瑟夫森结，实现了对高温超导体纳米尺度热效应的精准控制，成功制备出局部改性形成势垒的高温超导约瑟夫森结。该工艺简化了制造过程，降低了生产成本，同时确保了所制备器件的性能稳定性，达到了高温超导约瑟夫森结及超导量子器件一体化研制的效果。
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