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公开(公告)号：CN109669054B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201910126799.1
申请日：2019-02-20
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种高精度全差分电容‑电压转换电路系统。包括驱动信号产生部，全差分电荷放大器，电容补偿阵列；整体转换电路与传感器敏感结构仍然采用具单端连接的输出的方式，通过分时复用实现全差分电路结构；电路采用开关电容结构消除寄生电容的影响，主要信号通路均通过相关双采样技术消除低频噪声和失调，电容补偿阵列可对传感器敏感结构的失调和非线性进行校准。本发明能够有效的抑制寄生电容影响，降低开关电荷注入和衬底噪声产生的共模干扰，减小电路的谐波失真，提高加速度计系统的线性度，抑制零点漂移。
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公开(公告)号：CN110535442A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910881024.5
申请日：2019-09-18
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: H03F1/26 , H03F3/68 , H03G3/30 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器，属于MEMS惯性器件领域。采用开关电容结构，主要由开关，电容，可变电容阵列，运算放大器组成。通过分时复用、分时输出实现开关电容可编程增益放大器的连续信号输出，并实现全差分电路结构；通过相关双采样技术消除低频噪声和失调；可变电容阵列的n个电容呈指数分布，利用程序控制可变电容阵列来实现2n种不同的电容值，可变电容阵列选择采样电容而不是反馈电容，避免对放大器性能的影响。本发明可以实现2n种可调增益，大大提高了电路精度，能够适用于不同的电容式加速度传感器敏感结构，并实现多量程检测。
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公开(公告)号：CN110535442B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201910881024.5
申请日：2019-09-18
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: H03F1/26 , H03F3/68 , H03G3/30 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种应用于电容式加速度计的可编程增益放大器，属于MEMS惯性器件领域。采用开关电容结构，主要由开关，电容，可变电容阵列，运算放大器组成。通过分时复用、分时输出实现开关电容可编程增益放大器的连续信号输出，并实现全差分电路结构；通过相关双采样技术消除低频噪声和失调；可变电容阵列的n个电容呈指数分布，利用程序控制可变电容阵列来实n现2种不同的电容值，可变电容阵列选择采样电容而不是反馈电容，避免对放大器性能的影响。本发明可以实现2n种可调增益，大大提高了电路精度，能够适用于不同的电容式加速度传感器敏感结构，并实现多量程检测。
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公开(公告)号：CN109669054A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201910126799.1
申请日：2019-02-20
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0865
Abstract: 本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种高精度全差分电容-电压转换电路系统。包括驱动信号产生部，全差分电荷放大器，电容补偿阵列；整体转换电路与传感器敏感结构仍然采用具单端连接的输出的方式，通过分时复用实现全差分电路结构；电路采用开关电容结构消除寄生电容的影响，主要信号通路均通过相关双采样技术消除低频噪声和失调，电容补偿阵列可对传感器敏感结构的失调和非线性进行校准。本发明能够有效的抑制寄生电容影响，降低开关电荷注入和衬底噪声产生的共模干扰，减小电路的谐波失真，提高加速度计系统的线性度，抑制零点漂移。
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