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公开(公告)号：CN113258428A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110342910.8
申请日：2021-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种利用超透镜对面发射激光器进行多维度光场调控的方法，包括执行以下步骤：偏振调控步骤：圆偏振光入射超透镜表面形成透射光场，通过参数扫描，得到合适的纳米柱尺寸使得透射光场中只有交叉偏振光而没有同向偏振光；光场拓扑性质的调控步骤：通过对超透镜上单个纳米柱的旋转实现逐点的相位控制，利用该原理将所需要的相位通过纳米柱的旋转加载到超透镜上以实现对光场拓扑性质的调控；面发射激光器与超透镜相结合步骤：将受激实现横向回音壁模式发射光的面发射激光器与超透镜相结合。本发明的有益效果是：1.本发明的方法相比于利用传统光学元件对光场进行调制，超透镜具有超薄、超轻、低能耗的特点，能够对光波前灵活调控。
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公开(公告)号：CN102653858B
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210168199.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种磁控溅射与后续氧化制备MnCo尖晶石保护膜的方法，其包括以下步骤：步骤一、准备基板；步骤二、优化磁控溅射制备Mn/Co膜层工艺条件，设置本底真空度、基板加热温度、辉光清洗偏压、溅射气压、溅射功率、溅射基板偏压，所述溅射基板偏压是从小到大至少变化一次的电压；溅射靶材：多膜层成分处理、渐进式加元素法：先镀一层Cr，再镀MnCo合金，Mn/Co摩尔比小于1：1；步骤三、氧化处理生成（Mn，Co）3O4尖晶石。本发明直接购买不同比例的Mn/Co靶材，突破传统共溅射的局限，同时克服水溶液电镀法膜层质量和成分比例不易控制的的缺陷；膜层厚度可以得到优化，减少成本。
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公开(公告)号：CN102653858A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210168199.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种磁控溅射与后续氧化制备MnCo尖晶石保护膜的方法，其包括以下步骤：步骤一、准备基板；步骤二、优化磁控溅射制备Mn/Co膜层工艺条件，设置本底真空度、基板加热温度、辉光清洗偏压、溅射气压、溅射功率、溅射基板偏压，所述溅射基板偏压是从小到大至少变化一次的电压；溅射靶材：多膜层成分处理、渐进式加元素法：先镀一层Cr，再镀MnCo合金，Mn/Co摩尔比小于1：1；步骤三、氧化处理生成（Mn，Co）3O4尖晶石。本发明直接购买不同比例的Mn/Co靶材，突破传统共溅射的局限，同时克服水溶液电镀法膜层质量和成分比例不易控制的的缺陷；膜层厚度可以得到优化，减少成本。
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