公开(公告)号：CN105119907A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510433632.1

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋跃 ,  王一光 ,  张常江 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  赵为志 ,  陈震宇 ,  韩记晓

IPC: H04L29/06

CPC classification number: H04L69/02

Abstract: 一种基于FPGA的BiSS-C通信协议方法，本发明属于传感器与控制卡之间传输通信的技术领域。它的方法步骤一：FPGA模块的时钟信号MA通过RS422接口发送到外部光栅式传感器的时钟输入端；步骤二：时钟信号MA的上升沿触发外部光栅式传感器的数据信号发送；步骤三：FPGA模块判断每一帧数据信号的Start位是否为高电平和“0”位是否为低电平，如果不是，则继续等待下一帧数据，如果是，则每一个时钟MA的上升沿串口接收一位数据；步骤四：将完整的一帧数据存储到FPGA模块的双口RAM储存器内；步骤五：双口RAM储存器内的数据实时的传送到DSP模块内。本发明属于硬件解码，FPGA解码能实现数据通信和寄存器两种功能，既能完成通信，又能存储数据，存储的数据用于其他程序的处理。

公开(公告)号：CN104914682A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353872.0

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  韩记晓 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  张常江 ,  刘洋 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC: G03F7/20

Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。

公开(公告)号：CN105137855A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510454666.9

申请日：2015-07-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  宋法质 ,  王一光 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  张常江 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421 ,  G05B2219/1208

Abstract: 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。

公开(公告)号：CN105004264A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510434375.3

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  王一光 ,  何良辰 ,  陈震宇 ,  宋法质 ,  张常江 ,  宋跃 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G01B9/02

Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。

公开(公告)号：CN104914683A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353919.3

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  万勇利 ,  宋法质 ,  韩记晓 ,  张常江 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。

公开(公告)号：CN105068386A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510561426.9

申请日：2015-09-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  万勇利 ,  张常江 ,  董岳 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  赵为志 ,  韩记晓

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。

公开(公告)号：CN104950768A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510353871.6

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  崔莹 ,  韩记晓 ,  宋跃 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  何良辰 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/042

Abstract: 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。