公开(公告)号：CN109396507A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811273949.3

申请日：2018-10-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴春亚 ,  陈明君 ,  裴旭东 ,  王廷章 ,  韩鹏宇 ,  鲁义凡 ,  李曦光

IPC: B23C3/00 ,  B23Q3/06 ,  B81C99/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。

公开(公告)号：CN109396507B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201811273949.3

申请日：2018-10-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴春亚 ,  陈明君 ,  裴旭东 ,  王廷章 ,  韩鹏宇 ,  鲁义凡 ,  李曦光

IPC: B23C3/00 ,  B23Q3/06 ,  B81C99/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。