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公开(公告)号：CN109704273B
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201811647260.2
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述的纳米连接装置包括真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述的纳米线与电极连接方法包括获取硅基底和电极基底，将所述硅基底和所述电极基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和所述精定位样品台进行所述硅基底的定位；利用纳米操作装置对纳米线和纳米颗粒进行定位；开启近场光发生装置，进行所述纳米线与所述电极之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米光学天线的加工，从各个方面来提高纳米光学天线的加工精度与加工效率。
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公开(公告)号：CN109665490B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201811642315.0
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括：真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述纳米线连接方法包括：获取纳米颗粒和纳米线均匀分布于硅片表面的基底，将所述基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和精定位样品台进行所述基底的定位；利用纳米操作装置进行所述纳米线的定位，然后利用纳米操作装置进行纳米颗粒的定位；采用近场光作为热源，进行不同所述纳米线之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米线的连接，从各个方面来提高了纳米线的连接效率和连接质量。
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公开(公告)号：CN109665490A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811642315.0
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括：真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述纳米线连接方法包括：获取纳米颗粒和纳米线均匀分布于硅片表面的基底，将所述基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和精定位样品台进行所述基底的定位；利用纳米操作装置进行所述纳米线的定位，然后利用纳米操作装置进行纳米颗粒的定位；采用近场光作为热源，进行不同所述纳米线之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米线的连接，从各个方面来提高了纳米线的连接效率和连接质量。
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公开(公告)号：CN109502543A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811647147.4
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米操作装置，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米操作装置包括：第一运动机构、第二运动机构和控制装置，所述第一运动机构具有多个平动自由度和至少一个旋转自由度，所述第二运动机构具有多个旋转自由度和至少一个平动自由度，所述第一运动机构和所述第二运动机构上均安装有执行端，所述第一运动机构和所述第二运动机构分别与所述控制装置相连接，所述控制装置适于控制所述第一运动机构和所述第二运动机构带动所述执行端运动。本发明通过在所述第一运动机构和所述第二运动机构上安装执行端，通过多个所述执行端的配合使用而形成微镊子，实现对所述纳米线或纳米颗粒的夹取。
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公开(公告)号：CN109485013A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811642459.6
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括真空腔、近场光发生装置、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置和控制装置；所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置，所述纳米操作装置设置于所述真空腔内部，所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端，所述执行端设置于所述真空腔内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上，所述电子束发射及调控模块与所述电子束物镜相连接，所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块、所述纳米操作装置分别与所述控制装置相连接。本发明不需要移出样品，通过所述样品台配合所述执行端操作装置，所述样品的操作灵活度更佳，从而提高纳米连接的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109734048A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811642516.0
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种近红外光电器件及其加工方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述近红外光电器件，包括硅基底、若干纳米光学天线、两个电极和纳米线，其中若干所述纳米光学天线和两个所述电极设置于所述硅基底表面，所有所述纳米光学天线位于两个所述电极之间，所述纳米线的两端分别与两个所述电极连接，所述纳米线与至少一个所述纳米光学天线接触。本发明另外提供一种近红外光电器件的加工方法。本发明同一纳米光学天线中的大圆盘与小圆盘之间的间隙在光照时，能够激发等离子激元，可以对入射光进行捕获及增强，拓宽器件的响应波长范围，提高纳米线内部载流子浓度，进而提高器件的光学和电学性能。
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公开(公告)号：CN109485013B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201811642459.6
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括真空腔、近场光发生装置、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置和控制装置；所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置，所述纳米操作装置设置于所述真空腔内部，所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端，所述执行端设置于所述真空腔内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上，所述电子束发射及调控模块与所述电子束物镜相连接，所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块、所述纳米操作装置分别与所述控制装置相连接。本发明不需要移出样品，通过所述样品台配合所述执行端操作装置，所述样品的操作灵活度更佳，从而提高纳米连接的精度。
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公开(公告)号：CN109704273A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811647260.2
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述的纳米连接装置包括真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述的纳米线与电极连接方法包括获取硅基底和电极基底，将所述硅基底和所述电极基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和所述精定位样品台进行所述硅基底的定位；利用纳米操作装置对纳米线和纳米颗粒进行定位；开启近场光发生装置，进行所述纳米线与所述电极之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米光学天线的加工，从各个方面来提高纳米光学天线的加工精度与加工效率。
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公开(公告)号：CN109734048B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201811642516.0
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种近红外光电器件及其加工方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述近红外光电器件，包括硅基底、若干纳米光学天线、两个电极和纳米线，其中若干所述纳米光学天线和两个所述电极设置于所述硅基底表面，所有所述纳米光学天线位于两个所述电极之间，所述纳米线的两端分别与两个所述电极连接，所述纳米线与至少一个所述纳米光学天线接触。本发明另外提供一种近红外光电器件的加工方法。本发明同一纳米光学天线中的大圆盘与小圆盘之间的间隙在光照时，能够激发等离子激元，可以对入射光进行捕获及增强，拓宽器件的响应波长范围，提高纳米线内部载流子浓度，进而提高器件的光学和电学性能。
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公开(公告)号：CN109502543B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201811647147.4
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米操作装置，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米操作装置包括：第一运动机构、第二运动机构和控制装置，所述第一运动机构具有多个平动自由度和至少一个旋转自由度，所述第二运动机构具有多个旋转自由度和至少一个平动自由度，所述第一运动机构和所述第二运动机构上均安装有执行端，所述第一运动机构和所述第二运动机构分别与所述控制装置相连接，所述控制装置适于控制所述第一运动机构和所述第二运动机构带动所述执行端运动。本发明通过在所述第一运动机构和所述第二运动机构上安装执行端，通过多个所述执行端的配合使用而形成微镊子，实现对所述纳米线或纳米颗粒的夹取。
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