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公开(公告)号：CN101734864A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910311395.6
申请日：2009-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C17/22
Abstract: 一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，它涉及一种稿台玻璃表面氧化铝保护膜的制备方法。本发明解决了现有稿台玻璃硬度低、耐磨性差，导致使用寿命短、使用成本高的问题。本发明方法：超声清洗稿台玻璃，然后置于样品台上；然后抽真空后通氩气，再对稿台玻璃进行离子清洗，再将样品台转至沉积位置；继续抽真空，再通入氧气，设置沉积参数，开启装置，进行镀膜；然后再反溅即得。本发明的蓝宝石保护膜的纳米显微硬度为14.89～16.03GPa，670～690nm波段的扫描信号的光学透过率在80％以上。本发明蓝宝石保护膜在提高稿台玻璃硬度、耐磨性的同时，保证扫描信号透过率，延长了稿台玻璃的使用寿命，降低了使用成本。
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公开(公告)号：CN102534495A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210044330.1
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，然后通入氧气，镀膜，沉积，插入挡板，关闭氧气；五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；六、然后通入氧气，压强在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。本发明制备的膜稳定牢固结合的、耐久的、具有高反射率的氧化铝-铝-氧化铝的膜层材料体系，能够满足军用光学部件对气动热力条件的适应性要求。
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公开(公告)号：CN102534495B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210044330.1
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，然后通入氧气，镀膜，沉积，插入挡板，关闭氧气；五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；六、然后通入氧气，压强在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。本发明制备的膜稳定牢固结合的、耐久的、具有高反射率的氧化铝-铝-氧化铝的膜层材料体系，能够满足军用光学部件对气动热力条件的适应性要求。
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公开(公告)号：CN101734864B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910311395.6
申请日：2009-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C17/22
Abstract: 一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，它涉及一种稿台玻璃表面氧化铝保护膜的制备方法。本发明解决了现有稿台玻璃硬度低、耐磨性差，导致使用寿命短、使用成本高的问题。本发明方法：超声清洗稿台玻璃，然后置于样品台上；然后抽真空后通氩气，再对稿台玻璃进行离子清洗，再将样品台转至沉积位置；继续抽真空，再通入氧气，设置沉积参数，开启装置，进行镀膜；然后再反溅即得。本发明的蓝宝石保护膜的纳米显微硬度为14.89～16.03GPa，670～690nm波段的扫描信号的光学透过率在80％以上。本发明蓝宝石保护膜在提高稿台玻璃硬度、耐磨性的同时，保证扫描信号透过率，延长了稿台玻璃的使用寿命，降低了使用成本。
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