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公开(公告)号：CN105181601A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510556941.8
申请日：2015-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。
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公开(公告)号：CN103753449B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310744695.X
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 柔性铰链与气浮框架配合用于光学组件装夹定位的装置，涉及柔性铰链与气浮框架相配合用于光学组件装夹定位。以使大口径光学组件在水平面内具有低应力应变的可靠夹持能力，及气浮框架与二维大行程采用柔性联接以保证光学元件表面与工作台平面的平行度。柔性铰链与晶体框固接，晶体框上固定有连接耳，晶体框内固定有定位块，光学组件整体放置在晶体框内部，并通过定位块定位；晶体框内固定有锁紧块，定位螺钉一旋入锁紧块内，光学组件预夹紧固定于定位螺钉一及定位块之间；压紧块与晶体框固接，光学组件通过压紧块竖向压紧固定；球铰螺柱与连接耳固接，球铰螺柱与气浮垫接触。本发明用于光学元件在微缺陷快速搜寻与修复过程中的装夹定位。
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公开(公告)号：CN105181601B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510556941.8
申请日：2015-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。
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公开(公告)号：CN105181600B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510556896.6
申请日：2015-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置,涉及一种光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置。解决了对大口径融石英光学元件的微缺陷检测速度慢和定位精确度底的问题。本发明的可微调显微检测单元、二维大行程快速移动装置、Z轴运动装置和激光组件均设置在承载台上，承载台的上表面沿X轴方向设有凹槽，二维大行程快速移动装置设置在承载台凹槽内，可微调显微检测单元和激光组件均设置于Z轴运动装置的平台上，其轴线方向均垂直于二维大行程快速移动装置的侧面。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复使用。
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公开(公告)号：CN105759389A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610231486.9
申请日：2016-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台，涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载，上升和下降过程中机构形变不同，影响设备的运行精度或安装过程中误差过大，会导致元件卡死在两侧导轨之间，造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面，且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接，低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动，低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接，双耳环结构安装在龙门肋板上，双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接，实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103713102B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310744567.5
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动，用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上，X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上；步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动，Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上；Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中，Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接，Y轴导轨托盘另一端为气浮端，气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。
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公开(公告)号：CN103692561A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310744691.1
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，涉及一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷搜寻与修复装置。以解决目前无对大口径KDP晶体元件表面的微缺陷进行快速搜寻及微铣削修复的装置问题。底部大平板上固定放置有整体平台装配总成，底部平台装配总成固定在整体平台装配总成上，晶体移动平台装配体固定在整体平台装配总成上，晶体显微镜移动平台固定在整体平台装配总成上；第一、二拖链通过导轨拖链连接块与晶体移动平台装配体连接，晶体显微镜移动平台支架的下部与整体平台装配总成的上端面连接，晶体显微镜移动平台安装于晶体显微镜移动平台支架上。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复。
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公开(公告)号：CN105759389B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610231486.9
申请日：2016-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B7/00
Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台，涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载，上升和下降过程中机构形变不同，影响设备的运行精度或安装过程中误差过大，会导致元件卡死在两侧导轨之间，造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面，且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接，低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动，低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接，双耳环结构安装在龙门肋板上，双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接，实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。
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公开(公告)号：CN105834636B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610231493.9
申请日：2016-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B7/02
Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置，涉及一种随行夹具。解决了现有光学元件随行夹具装置存在夹持不稳定、易划伤光学元件且夹持过程耗时的问题。本发明的夹具框体为矩形框架，夹具框体的底边框的下表面设有两个定位球头，且两个定位球头以夹具框体竖直方向的中线为对称轴对称设置，夹具框体的前侧设置有两个前挡板，且固定在夹具框体的底边框上，夹具框体的左右两个边框上分别设置有一个侧面顶柱，两个侧面顶柱均固定在夹具框体的后侧，夹具框的左右两个边框上的外侧分别设有一个球窝件，夹具框体的上边框上固定有上顶柱，底部定位夹持件的一端夹持在夹具框体下边框上。本发明适用于作为随行夹具使用。
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公开(公告)号：CN103713102A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310744567.5
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动，用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上，X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上；步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动，Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上；Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中，Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接，Y轴导轨托盘另一端为气浮端，气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。
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