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公开(公告)号：CN104935218B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/56
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN105116843A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510405398.1
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。
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公开(公告)号：CN105004264A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434375.3
申请日：2015-07-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。
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公开(公告)号：CN104935218A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/52
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN104914683A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353919.3
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112761506A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110187679.X
申请日：2021-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学建筑设计研究院
Abstract: 一种应用于窗框外侧的保温智能覆盖窗，它涉及门窗结构技术领域。本发明为解决现有寒冷地区冬季窗户的保温性能差，且保温性能不可控，导致室内温度不适宜的问题。本发明包括电磁铁框、两个温度传感器、多个收纳盒和多个保温层，电磁铁框固接在窗框的外侧，窗框的内外两侧分别各固接有一个温度传感器，电磁铁框上侧框体的下端面上沿宽度方向由内至外依次设有多个收纳盒，每个收纳盒内分别收纳有一个保温层，保温层的两侧与电磁铁框的竖直框体滑动连接，保温层的下端和两侧均固接有磁铁，收纳盒的下端面设有外盖，外盖上设有电磁开关，电磁铁框、两个温度传感器和多个电磁开关分别与控制器连接。本发明用于窗体保温。
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公开(公告)号：CN104950768A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510353871.6
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
CPC classification number: G05B19/042
Abstract: 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。
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公开(公告)号：CN105116724A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510418937.5
申请日：2015-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于遗传算法优化神经网络直线电机定位力辨识方法，其步骤如下：步骤一：由加速度传感器采集直线电机匀速拖动数据并换算为定位力数据。步骤二：确定神经网络拓扑结构。步骤三：初始化神经网络各个参数。步骤四：定义遗传算法适应度函数为预测数据误差。步骤五：将步骤三中的神经网络参数作为个体，执行遗传算法。步骤六：当达到最大进化次数时，结束遗传算法优化过程，得到最优参数，进行步骤七，否则执行步骤五。步骤七：将最优参数赋到神经网络。步骤八：训练神经网络更新参数。步骤九：达到训练次数，则用训练后网络进行辨识，否则执行步骤八。本方法不需要定位力精确数学模型，不会产生由于数学模型不准确而导致的理论误差。
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公开(公告)号：CN104914682A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353872.0
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。
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公开(公告)号：CN105119907A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510433632.1
申请日：2015-07-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H04L29/06
CPC classification number: H04L69/02
Abstract: 一种基于FPGA的BiSS-C通信协议方法，本发明属于传感器与控制卡之间传输通信的技术领域。它的方法步骤一：FPGA模块的时钟信号MA通过RS422接口发送到外部光栅式传感器的时钟输入端；步骤二：时钟信号MA的上升沿触发外部光栅式传感器的数据信号发送；步骤三：FPGA模块判断每一帧数据信号的Start位是否为高电平和“0”位是否为低电平，如果不是，则继续等待下一帧数据，如果是，则每一个时钟MA的上升沿串口接收一位数据；步骤四：将完整的一帧数据存储到FPGA模块的双口RAM储存器内；步骤五：双口RAM储存器内的数据实时的传送到DSP模块内。本发明属于硬件解码，FPGA解码能实现数据通信和寄存器两种功能，既能完成通信，又能存储数据，存储的数据用于其他程序的处理。
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