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公开(公告)号：CN119774279A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202510003428.X
申请日：2025-01-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种真空保持的精密转运装置，它涉及精密加工技术领域。本发明为解决现有超精密加工工件转运过程中容易造成工件表面损伤的问题。本发明包括真空吸盘、吸盘连接件、零点定位器、载物平台、零点定位器底座、气管快接头、机械臂快换接头组件和载物快换接头组件，吸盘连接件的下端与零点定位器的上部固接，吸盘连接件与零点定位器底座之间通过载物快换接头组件连接，吸盘连接件的上端与真空吸盘的下端固接，真空吸盘的上端设置有吸附端面，吸盘连接件与转运机械臂之间设置有机械臂快换接头组件，真空吸盘吸附端面的气道由先至后依次通过吸盘连接件和机械臂快换接头组件与机械臂气泵相连通。本发明用于工件精密转运。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105564042B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201511027592.7
申请日：2015-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于机械产品加工技术领域，尤其是自动定位打标机。内有光刻机主机的主体框架上有两个支架，与工件导向槽连接的支架一与主体框架间有分度传送装置，工件导向槽上方有投料气缸，投料气缸与液压投料导向机构相对应，外有分度器的液压投料导向机构穿出支架一与分度传送装置的定位装卡工位相对应，电机与分度器连接，分度传送装置的投料工位与液压投料导向机构相对应；支架一上有与定位装卡装置连接的传感器，定位装卡伺服电机与定位装卡装置连接；支架二上有位于分度传送装置的上方的激光打标机，液压出料导向机构的活塞杆与分度传送装置相对应，分度传送装置与出料槽相对应。本发明提高了定位的精准度和工件质量，加快了工作效率。
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公开(公告)号：CN117750752A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410089999.5
申请日：2024-01-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05K13/04
Abstract: 一种气浮贴片机吸头，涉及半导体加工及微电子元器件制造技术领域。气浮轴承为圆筒结构，止推板为环形板固定在气浮轴承底端，回转电机转动安装在气浮轴承顶端，气动Z轴转动安装在气浮轴承底端，气动Z轴与回转电机连接传动，气动Z轴底端设置方槽并伸出止推板，回转电机与气动Z轴中心贯穿设置进气气道，方形气缸滑动插装在方槽内并留有气浮间隙，方形气缸侧壁加工节流微孔，吸头与方形气缸底端连接为一体，吸头两侧通过预紧弹簧与气动Z轴底端两侧连接，吸头底面中心设置吸气孔，侧方加工真空气道且外端安装真空接头。通过回转电机、气动Z轴和方形气缸的巧妙设置，能够同时满足吸头快速、高精度的径向回转运动和轴向位移运动。
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公开(公告)号：CN116972044A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311102087.9
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种表面节流型无摩擦平衡气缸及工作方法，它包含前端盖、缸体、活塞杆、活塞和后端盖；所述活塞的外表面上开有两个圆周凹槽，与前端盖相邻的圆周凹槽为供气槽，与后端盖相邻的圆周凹槽为卸气槽，卸气槽内开有与缸体内腔相通的卸气孔，活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向布置有供气通道，卸气孔与供气通道不相通，供气槽上开有与供气通道相通的供气孔，所述活塞的外表面设置有三段圆周凸台，以使气体进入到活塞与缸体之间的间隙中进行表面节流形成压力气膜。本发明占用空间小、加工装配简单、精度高、不易坏，能可靠的适用于超精密机床垂直轴平稳的垂直运动。
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公开(公告)号：CN116972043A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311102085.X
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 哈尔滨同和光学精密机械有限公司
Abstract: 一种表面节流和狭缝节流组合型无摩擦平衡气缸及工作方法，它包含前端盖、活塞杆、缸体、活塞和后端盖，活塞包含内活塞和外活塞，内活塞嵌套在外活塞内，活塞杆的另一端固定在内活塞上，外活塞与缸体的内表面滑动接触，内活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向设置有供气通道，外活塞的内侧面上开有与供气孔相配合的内环形槽，外活塞的外侧面上开有弧形狭缝孔道，弧形狭缝孔道布置在内环形槽的底部且二者相通，外活塞的外侧面上开有卸气槽，卸气槽的底部开有卸气孔，外活塞的临近卸气槽处的外表面上设置有环形凸台。本发明综合了表面节流和狭缝节流在高精度精密轴系中的应用优势，可满足超精密机床垂直轴高精度、平稳运动的需求。
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公开(公告)号：CN105564042A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201511027592.7
申请日：2015-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于机械产品加工技术领域，尤其是自动定位打标机。内有光刻机主机的主体框架上有两个支架，与工件导向槽连接的支架一与主体框架间有分度传送装置，工件导向槽上方有投料气缸，投料气缸与液压投料导向机构相对应，外有分度器的液压投料导向机构穿出支架一与分度传送装置的定位装卡工位相对应，电机与分度器连接，分度传送装置的投料工位与液压投料导向机构相对应；支架一上有与定位装卡装置连接的传感器，定位装卡伺服电机与定位装卡装置连接；支架二上有位于分度传送装置的上方的激光打标机，液压出料导向机构的活塞杆与分度传送装置相对应，分度传送装置与出料槽相对应。本发明提高了定位的精准度和工件质量，加快了工作效率。
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