用于XRD测试微区相成分的制样方法及装置

    公开(公告)号:CN119470506A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411634640.8

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本申请公开了一种用于XRD测试微区相成分的制样方法,属于XRD相成分检测技术领域。通过在待测样品的待测面覆盖选定的覆盖物,而后将待测样品的待测区域处的覆盖物刻蚀后仅暴露出待测样品的待测区域。这样,在采用X射线衍射仪对待测区域的相成分进行测试时,待测区域以外的待测面无衍射峰或与待测区域衍射峰不完全重叠,就可获得微米级待测区域的衍射峰图谱。本发明的方法使得微米级待测区域的相成分的XRD检测可以不受测量方式或仪器硬件条件的限制。

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