公开(公告)号：CN107504950B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201710633118.1

申请日：2017-07-28

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙鹏 ,  邱飞燕 ,  徐杰 ,  范冬青 ,  邢朝洋 ,  王玉良 ,  王增跃

IPC: G01C9/00

Abstract: 一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEMS角度敏感器敏感到安装载体倾斜角度的变化，后经调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口输出与倾斜角度成比例的数字量连续信号；电连接器焊接在双轴倾角传感器电路上并安装在金属封装壳体上形成电气接口；封装壳体将双轴倾角传感器电路和电连接器封装在一起，并通过安装法兰形成机械接口。本发明可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。

公开(公告)号：CN107504950A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710633118.1

申请日：2017-07-28

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙鹏 ,  邱飞燕 ,  徐杰 ,  范冬青 ,  邢朝洋 ,  王玉良 ,  王增跃

IPC: G01C9/00

Abstract: 一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEMS角度敏感器敏感到安装载体倾斜角度的变化，后经调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口输出与倾斜角度成比例的数字量连续信号；电连接器焊接在双轴倾角传感器电路上并安装在金属封装壳体上形成电气接口；封装壳体将双轴倾角传感器电路和电连接器封装在一起，并通过安装法兰形成机械接口。本发明可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。

公开(公告)号：CN107478198A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201710633123.2

申请日：2017-07-28

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙鹏 ,  邱飞燕 ,  范冬青 ,  邢朝洋 ,  徐杰 ,  王超

IPC: G01C9/00 ,  G01C25/00 ,  B81B7/02 ,  B81C3/00

CPC classification number: G01C9/00 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0228 ,  B81C3/001 ,  G01C25/00

Abstract: 一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法，该敏感结构包括上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板，及金丝引线；上玻璃极板和下玻璃极板上淀积有金属电极区域和介质膜区域形成电容的上极板和下极板；中间硅极板由两根悬臂梁连接一个方形质量块形成电容的中间极板；上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板采用双电场静电键合方式形成“三明治”式敏感结构，再用金丝球焊机压焊金丝引出电容信号。本发明采用对称电容结构形式，采用湿法体硅加工方法，可以获得较大的质量块，提高角度分辨率和测量精度，可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。