-
公开(公告)号:CN114770224A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202210579594.0
申请日:2022-05-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及超精密加工领域,公开一种超精密加工刀痕在位检测方法。该检测方法包括以下步骤:步骤一,加工表面形貌,对设置于机床主轴上的工件的加工表面进行超精密单点金刚石加工;步骤二,测量反射光谱,设置反射光谱仪,并使反射光谱仪发射的光束垂直射入加工表面,以获得反射光谱;步骤三,拟合判断,根据反射光谱,拟合计算出加工表面刀痕的几何信息,并根据几何信息判断加工表面是否满足加工需求。该检测方法无需取下工件,即可对工件进行检测,且属于非接触式检测,有效避免了加工表面损伤。另外,该检测方法直接从光学效果出发,建立反射光谱与表面刀痕的耦合关系,并进行解耦分析刀痕几何参数,普遍适用于工件表面的刀痕检测。
-