公开(公告)号：CN118957529A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410998614.7

申请日：2024-07-24

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 武宏宇 ,  杨宇 ,  李连升 ,  梅志武 ,  申坤 ,  黎月明 ,  左富昌 ,  赵晓雨 ,  郭凯 ,  刘亚楠 ,  陈冲 ,  陈琪 ,  高修涛 ,  范汉超 ,  朱春英 ,  左建斌 ,  芦冬梅 ,  张岩

IPC: C23C14/50

Abstract: 一种X射线多层嵌套金属反射镜芯轴镀膜装置，将原本镀膜机的镀膜工件平面公转的转动方式转换为平面公转加绕芯轴自转的方式，有效提升了镀膜膜层厚度均匀性；在机构方面采用联轴器、扭力限制器以及螺旋伞形锥齿轮等结构，解决了系统转动惯量过大带来的过载问题，使装置长期运行顺畅、平稳、可靠；通过特殊无油、耐高温、自润滑轴承的选用，克服了普通轴承真空高温工况下转动可靠性问题；在装卡方面，设计了长度可调、直径可变的装卡机构，以适应多种规格的芯轴镀膜，达到简化装置结构的目的，有效减少了工装种类、降低了使用成本。