公开(公告)号：CN119124336A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411249928.3

申请日：2024-09-06

Applicant: 北京大学

Inventor： 齐霄雨 ,  张楠 ,  杨子睿 ,  赵妍 ,  王贝宁 ,  高成臣 ,  杨振川

IPC: G01H3/00 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种灵敏度增益电极阵列电化学质点振速传感器及其实现方法。本发明设置增益电极阵列，能够大幅提高器件的灵敏度；每一个增益电极分别串联相应的开关连接至零电位，能够调节器件的量程，通过接入不同数量的增益电极，量程也有所不同，能够适应不同的应用场景；本发明提高了电解液的利用率，能够更为有效的利用远离芯片处的电解液，有效提高阳极表面离子浓度；对于电化学原理的振动检‑波器或水听器等设备具有通用性，在无需增加额外工艺步骤的情况下就能够有效提高设备灵敏度；能够降低器件高频噪声、改善高频噪声曲线的走向，对于水下应用场景具有很大的意义；本发明成本低廉，增益效果突出，并且能够叠加使用进一步提高灵敏度。

公开(公告)号：CN118190136A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410258472.0

申请日：2024-03-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 齐霄雨 ,  张楠 ,  赵妍 ,  杨子睿 ,  高成臣 ,  杨振川

IPC: G01H11/06 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于电化学原理的振动传感芯片及其制备方法。本发明采用玻璃硅键合片，玻璃介质层位于阴极与阳极之间，既具有支撑性又具有绝缘性，玻璃介质层作为阴极和阳极的支撑，流孔阵列的高度等于玻璃介质层的厚度，高度变小，使得流阻变小，从而灵敏度提升；同时，玻璃介质层作为阴极与阳极之间的绝缘，在电阻率没有变化的同时，增加阴极与阳极之间电阻值，减少直流漏电，并且同时降低阴极与阳极之间的耦合电容，实现降低由耦合电容引起的交流噪声；二维背腔阵列的每一个背腔的表面平整，能够降低噪声，且多个背腔的深度一致，提高器件一致性；玻璃材料在提高强度的同时，降低加工过程中碎片的风险。

公开(公告)号：CN118190135A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410201782.9

申请日：2024-02-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 张楠 ,  齐霄雨 ,  杨子睿 ,  赵妍 ,  杨振川 ,  高成臣

IPC: G01H11/06 ,  G01V1/18

Abstract: 本发明公开了一种基于电化学原理的振动传感器敏感电极及实现方法。本发明在两个阴阳电极层之间增加补偿层，从而大大增加浓度梯度，能够提升灵敏度；并且，能够减小大流速下的信号失真；本发明的补偿层电解液流孔较大，且厚度薄，系统流阻不受补偿层的影响；补偿层消耗掉两个阴阳电极层的阴极之间传输的反应离子，有效降低大流速下从一个阴阳电极层的阴极到另外一个阴阳电极层的阴极的反应离子的对流位移，提高了振动传感器的动态范围；对于1Hz以下低频域振动，本发明增加的补偿层，使得反应离子从一个阴阳电极层的阴极向另一个阴阳电极层的阴极扩散的过程中被补偿层消耗掉，从而有助于减小振动传感器低频域的衰减，从而改善低频域的输出性能。