公开(公告)号：CN103238130A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201280003659.1

申请日：2012-02-03

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 西泽孝治 ,  小林佑辅 ,  小松博登

IPC: G06F3/044 ,  G01B7/28 ,  G06F3/041

CPC classification number: G01R1/02 ,  G01R3/00 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明具备：成膜工序，在具有透光性的基材(2)的至少一个表面形成透光性导电膜薄膜(11)；辅助电极形成工序，在薄膜(11)的至少一部分设定起透明电极(3)作用的电极区域(3a)，并以覆盖电极区域(3a)周缘的至少一部分的方式层压电阻低于薄膜(11)的辅助电极(4a)；配线形成工序，将一端连接到辅助电极(4a)的配线(4b)层压在薄膜(11)上；抗蚀剂层压工序，以覆盖整个电极区域(3a)和至少一部分辅助电极4a的方式层压抗蚀剂(12)；以及导电膜去除工序，去除在具有透光性的基材(2)上形成的薄膜(11)中位于不与抗蚀剂(12)、辅助电极(4a)、以及配线(4b)重叠的位置的薄膜(11)。

公开(公告)号：CN103238130B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201280003659.1

申请日：2012-02-03

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 西泽孝治 ,  小林佑辅 ,  小松博登

IPC: G06F3/044 ,  G01B7/28 ,  G06F3/041

CPC classification number: G01R1/02 ,  G01R3/00 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明具备：成膜工序，在具有透光性的基材(2)的至少一个表面形成透光性导电膜薄膜(11)；辅助电极形成工序，在薄膜(11)的至少一部分设定起透明电极(3)作用的电极区域(3a)，并以覆盖电极区域(3a)周缘的至少一部分的方式层压电阻低于薄膜(11)的辅助电极(4a)；配线形成工序，将一端连接到辅助电极(4a)的配线(4b)层压在薄膜(11)上；抗蚀剂层压工序，以覆盖整个电极区域(3a)和至少一部分辅助电极4a的方式层压抗蚀剂(12)；以及导电膜去除工序，去除在具有透光性的基材(2)上形成的薄膜(11)中位于不与抗蚀剂(12)、辅助电极(4a)、以及配线(4b)重叠的位置的薄膜(11)。

公开(公告)号：CN105103099A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480020549.5

申请日：2014-04-10

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 西泽孝治 ,  小松博登 ,  堀田真司

IPC: G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  H05K3/14 ,  H05K3/46

CPC classification number: G06F3/044 ,  C23F1/00 ,  C23F4/02 ,  G06F2203/04103 ,  G06F2203/04111 ,  H05K1/09 ,  H05K3/06 ,  H05K3/4685 ,  H05K2201/0108 ,  H05K2201/0317

Abstract: 本发明的制作感测片用片材，具备：基材；以及形成于该基材的一侧的面的厚度0.01至1.0μm的金属蒸镀层。本发明的制作感测片用片材的制造方法，包括：蒸镀步骤，是使厚度0.01至1.0μm的金属蒸镀层蒸镀于基材的一侧的面。本发明的制作感测片用片材的制造方法中，所述蒸镀优选是真空蒸镀。