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公开(公告)号：CN114114829A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110967016.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
Abstract: 本发明公开了压印装置和制造物品的方法。所述压印装置针对基板上的多个投射区域中的每一个执行使用模具在所述基板上形成压印材料的处理，所述装置包括：检测器，所述检测器被配置为检测在所述基板中提供的标记的位置；以及控制器，所述控制器被配置为在所述处理中基于所述检测器的检测结果来控制所述基板与所述模具之间的对准，其中，所述多个投射区域中的每一个包括在预处理中已单独地转印原版的图案的两个或更多个转印区域，并且在对特定的投射区域的所述处理中，所述控制器基于在所述两个或更多个转印区域当中除了最小的转印区域之外的转印区域中提供的标记的检测结果来控制所述对准。
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公开(公告)号：CN102200687B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110071162.0
申请日：2011-03-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及压印设备和制造物品的方法。一种在涂布在基板上的树脂与模子的图案表面彼此接触的同时使所述树脂固化的压印设备包括：供应部分，被配置为向所述模子的图案表面面向的空间供应气体，所述气体用于加速用所述树脂填充所述模子的图案表面的凹陷部分；以及控制器，被配置为控制所述供应部分以便在使所述树脂与所述模子的图案表面彼此接触之前向所述空间供应气体，其中所述供应部分被配置为经由在所述模子的至少一部分中形成的多孔部分来向所述空间供应气体。
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公开(公告)号：CN103135340A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210490618.1
申请日：2012-11-27
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，从而将所述图案转印到基板上，所述压印装置包括：检测器，其被配置为检测形成在基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，其被配置为使所述图案区变形；和控制器，其被配置为控制所述压印处理。
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公开(公告)号：CN1185915C
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN02121787.4
申请日：2002-05-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L25/041 , G01N2203/0417 , H01L23/4985 , H01L27/14663 , H01L2224/16225 , H01L2924/01327 , H01L2924/13091 , H05K1/118 , H05K3/4092 , H01L2924/00
Abstract: 柔性基板，包括一端连接外部连接端子的内引线和被覆内引线的薄膜，配置在基板上方的薄膜区域比外部连接端子薄。具有基板、外部连接端子、由内引线和被覆内引线的薄膜构成的柔性基板的器件制造方法，使薄膜距外部连接端子近的尖端和基板对准；粘接薄膜和基板侧壁端部；弯曲内引线连接外部连接端子。具有外部连接端子和柔性基板的基板，柔性基板沿着基板的外部连接面和侧面配置，且外部连接面与侧面之间的棱角被倒棱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110083009A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910498821.5
申请日：2014-05-27
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括：在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；并且形成包括压印材料上标记的图案，其特征在于，使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记，直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止，从而获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。
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公开(公告)号：CN107615450A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680027556.7
申请日：2016-05-09
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 本发明提供了一种生产率增加的压印装置。一种用于执行压印工艺从而通过使用模具在基板上形成压印材料图案的压印装置，包括：检测器，其检测形成在基板上的压印材料图案；及控制器，其控制压印装置。控制器使得压印步骤和检测步骤能够并行执行，从而使得在压印步骤中通过压印工艺将压印材料图案形成在基板上，并且在检测步骤中由检测器检测形成在与正在执行压印工艺的基板不同的基板上形成的压印材料图案。
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公开(公告)号：CN106415787A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580030048.X
申请日：2015-05-15
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F9/7042
Abstract: 本发明提供执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在衬底上形成图案，所述设备包括配置为测量模具和衬底的相对位置的测量单元、配置为发射用于固化压印材料的光的光源单元、配置为在衬底上扫描来自光源单元的光的扫描单元以及配置为控制压印处理的控制单元，其中控制单元通过在基于测量单元的测量结果部分地使模具和衬底彼此对齐的同时使得扫描单元扫描光来执行压印处理。
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公开(公告)号：CN1391427A
公开(公告)日：2003-01-15
申请号：CN02121787.4
申请日：2002-05-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L25/041 , G01N2203/0417 , H01L23/4985 , H01L27/14663 , H01L2224/16225 , H01L2924/01327 , H01L2924/13091 , H05K1/118 , H05K3/4092 , H01L2924/00
Abstract: 柔性基板，包括一端连接外部连接端子的内引线和被覆内引线的薄膜，配置在基板上方的薄膜区域比外部连接端子薄。具有基板、外部连接端子、由内引线和被覆内引线的薄膜构成的柔性基板的器件制造方法，使薄膜距外部连接端子近的尖端和基板对准；粘接薄膜和基板侧壁端部；弯曲内引线连接外部连接端子。具有外部连接端子和柔性基板的基板，柔性基板沿着基板的外部连接面和侧面配置，且外部连接面与侧面之间的棱角被倒棱。
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公开(公告)号：CN109059765B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201810939318.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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