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公开(公告)号：CN111801170B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201980013849.3
申请日：2019-04-02
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清扫装置，从设置于在被涂布体的上方行进的涂布用喷嘴的前端面处的狭缝状的排出口排出涂敷液，在对被涂布体的表面涂布涂敷液之后，上述清扫装置通过清扫构件去除残留于涂布用喷嘴的前端部的涂敷液，在涂布用喷嘴的行进方向上夹着所需间隔设置的第一清扫构件和第二清扫构件设置有与涂布用喷嘴的前端部的形状对应的清扫用刮除部，并且上述第一清扫构件和第二清扫构件朝向涂布用喷嘴的前端部的长度方向向相反方向倾斜，使这些清扫构件中的清扫用刮除部沿着涂布用喷嘴的前端部，并使第一清扫构件和第二清扫构件依次向相反方向移动，从而对涂敷用喷嘴的前端部进行清扫。
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公开(公告)号：CN114054307A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202011470427.X
申请日：2020-12-14
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 提供一种将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板的边缘部平坦化设备及包括该设备的涂布干燥系统。边缘部平坦化设备(3)包括加热涂布在基板(7)的涂布液膜(8)的边缘部(49)的加热部(30)、测量边缘部(49)处的隆起的隆起测量传感器(40)、控制边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力的表面张力控制部(32、33)和控制表面张力控制部(32、33)的控制部(100)，控制部(100)用隆起测量传感器测量边缘部(49)处的隆起，同时控制表面张力控制部(32、33)并控制加热部(30)对边缘部(49)的加热以使边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力下降并抑制涂布液膜(8)的边缘部(49)处的隆起。
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公开(公告)号：CN112474205A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202010939262.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 提供一种能够将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板上的减压干燥装置。一种减压干燥装置(3)，包括：腔室(6)，上述腔室对涂布有包含溶剂的涂布液膜(8)的基板(7)进行收容；减压排气部(20)，上述减压排气部使上述腔室(6)的内部减压排气；以及汽化促进部(30、35)，上述汽化促进部促进来自上述涂布液膜(8)的上述溶剂的汽化，上述汽化促进部(30、35)配设在涂布于上述基板(7)的上述涂布液膜(8)的液周缘部(49)的周边。
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公开(公告)号：CN118491788A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410041308.4
申请日：2024-01-10
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 福井慎也
Abstract: 使收容在涂覆用喷嘴(10)的涂覆液收容部(12)的涂覆液(P)从狭缝状排出口(11)排出到被涂覆体(1)，并且使涂覆用喷嘴与被涂覆体相对移动以将涂覆液涂覆于被涂覆体的表面时，设置控制装置(30)，所述控制装置对涂覆液从狭缝状排出口向被涂覆体的表面的排出/停止进行控制，在比狭缝状排出口更靠涂覆方向下游侧的位置设置吹气喷嘴(31)，配合通过控制装置使涂覆液从狭缝状排出口向被涂覆体的表面的排出停止的动作，通过吹气喷嘴向涂覆液的末端部分吹出气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111801170A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201980013849.3
申请日：2019-04-02
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清扫装置，从设置于在被涂布体的上方行进的涂布用喷嘴的前端面处的狭缝状的排出口排出涂敷液，在对被涂布体的表面涂布涂敷液之后，上述清扫装置通过清扫构件去除残留于涂布用喷嘴的前端部的涂敷液，在涂布用喷嘴的行进方向上夹着所需间隔设置的第一清扫构件和第二清扫构件设置有与涂布用喷嘴的前端部的形状对应的清扫用刮除部，并且上述第一清扫构件和第二清扫构件朝向涂布用喷嘴的前端部的长度方向向相反方向倾斜，使这些清扫构件中的清扫用刮除部沿着涂布用喷嘴的前端部，并使第一清扫构件和第二清扫构件依次向相反方向移动，从而对涂敷用喷嘴的前端部进行清扫。
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公开(公告)号：CN118488878A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202280087119.X
申请日：2022-07-21
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 在使被涂装涂布液的基板(10)的表面中的涂装部(11)的周缘部(11a)干燥时，以使基板中的涂装部的周缘部位于旋转台(32)的外周侧的方式将基板载置于旋转台上，并且将对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热的加热体(H)在基板的下侧以不与基板接触的方式配置，并通过所述旋转台使基板旋转，并且通过所述加热体对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热以使其干燥。
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公开(公告)号：CN112341005B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202010161391.0
申请日：2020-03-10
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。
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公开(公告)号：CN112341005A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010161391.0
申请日：2020-03-10
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。
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公开(公告)号：CN309258024S
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202430192265.0
申请日：2024-04-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：涂布装置用注出整流工具的涂液引导部。
2.本外观设计产品的用途：要求保护的局部外观设计所在的整体产品用于以预定的形状对晶片等基材的表面进行涂布的涂布装置，要求保护的局部外观设计安装于涂液注出用模头的注出口，并用于从注出口笔直地注出涂液。
3.本外观设计产品的设计要点：在于实线部分的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：D部放大图。
5.右视图与左视图相同，省略右视图。
6.其他需要说明的情形其他说明：实线表示的部分是要求保护的部分，虚线表示的部分是不要求保护的部分，单点划线是要求保护的部分与不要求保护的部分之间的边界。
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