一种晶圆级电化学腐蚀系统及薄膜剥离工艺

    公开(公告)号:CN116163001A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202211476806.9

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本申请涉及一种晶圆级电化学腐蚀系统,包括:腐蚀槽,腐蚀槽内部左右两侧设有竖槽,用于安装和固定阴极和阳极,竖槽内设置有用于固定晶圆的阳极架;腐蚀液,盛放于腐蚀槽内;阴极,包括绝缘材质的平板,平板上贴附有金属板;阳极,包括阳极架,阳极架为工字形结构,中部圆弧形长槽长度与待固定晶圆直径相同,长槽上下两端通过螺丝用防腐蚀材质压片固定晶圆;氮气鼓气系统,通过在腐蚀槽侧面或者底面位置开孔,接入氮气;上位机控制系统,用于控制电化学腐蚀实验进度以及参数的记录;源表,接入于阴极、阳极之间的回路中,用于控制输出恒、变电压,同时测试回路中电压和电流。本发明为晶圆的金属牺牲层释放提供了便捷的实验条件。

    一种晶圆级阳极氧化系统及方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116162985A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310091852.5

    申请日:2023-01-17

    Abstract: 本申请提供一种晶圆级阳极氧化系统及方法,氧化系统包括控制模块、数字源表、阳极、阴极和电解槽,阳极为位于晶圆上的金属;控制模块与数字源表的第一端相连,用于控制数字源表输出电流;数字源表的第二端和第三端分别连接阳极和阴极,用于向阳极和阴极输入电流,以在阳极和阴极之间形成电场,对阳极金属氧化,数字源表用于测量阳极和阴极之间的电压,电压与阳极氧化形成的氧化膜的厚度基本成线性关系;电解槽中盛有电解液,阳极和阴极位于电解液中。观察阳极和阴极之间的电压变化可以确定阳极氧化膜的厚度,通过控制模块可以随时暂停或开启阳极氧化,实现可控厚度的晶圆级金属阳极氧化,具有稳定性。

    一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体

    公开(公告)号:CN115233269A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202210853377.6

    申请日:2022-07-08

    Abstract: 本发明公开了一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体,包括开口朝上的容纳腔体,容纳腔体内竖向设有第一极板和第二极板,第一极板和第二极板连接电源的正极和负极;当第一极板中的金属板连接电源的负极,第二极板中的金属导电片连接电源的正极时,该槽体用于金属阳极氧化;当第一极板中的金属板连接电源的正极,第二极板中的金属导电片连接电源的负极时,该槽体用于电镀金属。本申请提供了一种既可用于金属阳极氧化又可用于电镀的槽体,该槽体适用于2‑8英寸表面金属待氧化或电镀金属的晶圆片,其金属薄膜性能均匀稳定,重复性好。

    一种吸收体和超导薄膜之间热连接制作工艺

    公开(公告)号:CN116600629A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202310461856.8

    申请日:2023-04-26

    Abstract: 本发明涉及一种吸收体和超导薄膜之间热连接制作工艺,其制作步骤如下:S1、制作热连接支撑部:在超导薄膜上制做出连接柱充当支撑部,将连接柱放置于超导薄膜上;S2、开始调胶步骤:将预制好的环氧树脂胶装入点胶机的储胶罐,并将放置好连接柱的超导薄膜放置在点胶机的工作位处;S3、开始点胶机点胶调整步骤:将一部分环氧树脂胶慢慢挤出点胶针头;S4、加胶步骤:使点胶针头缓慢下降,直到连接柱远离超导薄膜的一端碰触到点胶针头上的环氧树脂胶后停止;S5、连接步骤:将吸收体放置在粘有环氧树脂胶的连接柱的顶部。本发明提供一种吸收体和超导薄膜之间热连接制作工艺,制作出尺寸较小的热连接,让热连接排列更多样化。

    一种X射线超导转变边沿探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115101656A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210780796.1

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 本发明公开了一种X射线超导转变边沿探测器及其制备方法,其中,X射线超导转变边沿探测器包括双抛硅片、超导薄膜、电极、热连接结构和吸收体;双抛硅片的上侧设有第一氧化硅薄膜,第一氮化硅薄膜,下侧设有第二氧化硅薄膜,第二氮化硅薄膜,且双抛硅片的中部为开口向下的空腔,露出上侧的第一氮化硅薄膜;超导薄膜设置在第一氮化硅薄膜上,电极为两个并设置在第一氮化硅薄膜上且位于超导薄膜的相对两侧并压住超导薄膜,两个电极分别对应连接第一引线和第二引线;热连接结构可为1根、5根、或6根,吸收体水平设置在热连接结构上。其制备方法简单,可降低制备X射线超导转变边沿探测器的复杂度,同时可提高其能量分辨率。

    一种光照模式可调的高适用性天窗灯

    公开(公告)号:CN115681849A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202111591598.2

    申请日:2021-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种光照模式可调的高适用性天窗灯,包括天窗灯本体、墙体和固定块,所述天窗灯本体活动安装在所述墙体的内部,且墙体的表面开设有定位槽,并且墙体的内部开设有卡槽;所述固定块固定安装在所述天窗灯本体的侧面,且固定块关于所述天窗灯本体的中心对称分布;还包括:折光板,所述折光板固定安装在长销的表面,且折光板为透明玻璃材质;散热板,所述散热板活动安装在所述固定块的内部,且散热板的表面固定安装有散热片。该光照模式可调的高适用性天窗灯在需要调节光照模式时,可以启动微型马达,此时微型马达通过长销带动折光板打开,此时天窗灯本体照下来的光亮强度发生变化,即光照模式发生改变,操作过程快捷方便。

    一种基于蓝牙通信的能自动计算成牌数量的麻将桌

    公开(公告)号:CN115475376A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202211099431.9

    申请日:2022-09-07

    Abstract: 本发明专利公开了一种基于蓝牙通信的带摄像头的自动结算麻将胡牌分数的麻将桌,包括摄像头、蓝牙模块、(正常麻将机的零部件)。用户可根据喜好搜索相应的麻将规则并应用,在打完一局麻将对局,进行胡点计算时,点击麻将机中央的按钮,桌子中间控制盘会升起,摄像头会从东南西北四位玩家的方向捕捉每个人各自的麻将牌情况,并将信息通过蓝牙通信协议上传至配对的手机,对应的手机app对每位玩家的麻将牌图片进行识别,获取麻将牌的信息,并通过已设定的计点规则进行计算,最后给出本局游戏最终的胡牌分数和结果。本发明专利帮助玩家结算麻将胡牌情况,大大缩减游戏结算时间。

    一种可根据环境进行亮度自适应调整的天窗灯

    公开(公告)号:CN114294588A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111613305.6

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种可根据环境进行亮度自适应调整的天窗灯,包括天窗灯壳体、灯罩、光敏传感器和亮度调节模块,所述天窗灯壳体的内侧中部安装有灯罩,且天窗灯壳体的边侧安装有光敏传感器,所述天窗灯壳体的上端安装有亮度调节模块,并且亮度调节模块和光敏传感器之间电性连接;包括:设置在所述天窗灯壳体背面边侧的吸热板,所述吸热板上固定连接有固定柱,且固定柱的外侧套设有导热弹簧,并且导热弹簧的下端和吸热板之间固定连接;传导板,设置在所述天窗灯壳体的内部。该可根据环境进行亮度自适应调整的天窗灯,能够避免在其长时间工作后自身处于过热的状态,同时利用散热片进行传导散热时,避免只能与固定范围内的空气进行换热。

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