半导体硅太赫兹激光源器件

    公开(公告)号:CN101252255A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:CN200810034077.5

    申请日:2008-02-29

    Abstract: 本发明公开了一种半导体硅太赫兹激光源器件,包括:泵浦源、硅THz激光器芯片,为硅THz激光器芯片提供制冷的制冷系统。本发明的特征是:利用硅THz激光器芯片中具有更长2p0能级寿命的电离能为40.09meV类氢浅施主杂质NSD来替代硅THz激光器芯片中的杂质P实现5.40THz波段的激光输出。本发明的优点是容易实现2p0能级与较低s态之间的粒子数反转,此类THz激光源器件的品质因子较基于硅中V族浅施主杂质的激光源器件提高约3倍左右,极大提高了THz激光源器件的效率与性能。本发明器件所用硅材料制备方法为提拉法,工艺成熟,均匀性好。

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