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公开(公告)号：CN108511598A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810218379.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种PVDF/石墨烯柔性压电材料的制备方法，包括：步骤S1：将PVDF类聚合物溶解于有机溶剂中得到PVDF类聚合物溶液，并加入石墨烯分散液，得到均匀的石墨烯/PVDF类聚合物分散液；步骤S2：使PVDF/石墨烯分散液浸润一负载纤维材料，再将该负载纤维材料浸没在相分离剂中，并烘干，得到固化的PVDF/石墨烯压电材料。本发明还提供了利用该压电材料制备PVDF/石墨烯柔性压电发电机的方法。本发明利用相分离实现快速固化，利用石墨烯以及相分离同时促进极化作用，方法简便高效，提高了制得的PVDF/石墨烯柔性压电发电机压电性能。
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公开(公告)号：CN112484800B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202011332941.7
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：(111)单晶硅衬底；与衬底相连接的隔热薄膜，且共同围成一个隔热腔体；加热元件；一对呈“<>”状的热电堆，位于隔热薄膜下表面且对称分布于加热元件两侧，每个热电堆尖端处两条轮廓线的夹角为120°，热电堆由至少一对悬挂于隔热薄膜下表面的沿 晶向的P+单晶硅热偶臂和N+单晶硅热偶臂组成的P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对构成，两个热偶臂及热电堆与加热元件之间通过隔离槽隔离。本发明的结构选择塞贝克系数最大的单晶硅，且可在有限的尺寸下将热偶臂的等效长度做的更长，提高传感器的灵敏度；另外还可增大P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对热端与单晶硅加热元件之间的间距，调整量程和测量精度。
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公开(公告)号：CN112484800A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011332941.7
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：(111)单晶硅衬底；与衬底相连接的隔热薄膜，且共同围成一个隔热腔体；加热元件；一对呈“<>”状的热电堆，位于隔热薄膜下表面且对称分布于加热元件两侧，每个热电堆尖端处两条轮廓线的夹角为120°，热电堆由至少一对悬挂于隔热薄膜下表面的沿 晶向的P+单晶硅热偶臂和N+单晶硅热偶臂组成的P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对构成，两个热偶臂及热电堆与加热元件之间通过隔离槽隔离。本发明的结构选择塞贝克系数最大的单晶硅，且可在有限的尺寸下将热偶臂的等效长度做的更长，提高传感器的灵敏度；另外还可增大P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对热端与单晶硅加热元件之间的间距，调整量程和测量精度。
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公开(公告)号：CN108511598B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201810218379.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种PVDF/石墨烯柔性压电材料的制备方法，包括：步骤S1：将PVDF类聚合物溶解于有机溶剂中得到PVDF类聚合物溶液，并加入石墨烯分散液，得到均匀的石墨烯/PVDF类聚合物分散液；步骤S2：使PVDF/石墨烯分散液浸润一负载纤维材料，再将该负载纤维材料浸没在相分离剂中，并烘干，得到固化的PVDF/石墨烯压电材料。本发明还提供了利用该压电材料制备PVDF/石墨烯柔性压电发电机的方法。本发明利用相分离实现快速固化，利用石墨烯以及相分离同时促进极化作用，方法简便高效，提高了制得的PVDF/石墨烯柔性压电发电机压电性能。
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