公开(公告)号：CN1223859C

公开(公告)日：2005-10-19

申请号：CN02136742.6

申请日：2002-08-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 王钻开 ,  陆德仁 ,  黄金平

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间的主梁为层叠的位置关系，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间的主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，其中4条安置于敏感梁与锚区的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。

公开(公告)号：CN1425922A

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：CN02136742.6

申请日：2002-08-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 王钻开 ,  陆德仁 ,  黄全平

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。

公开(公告)号：CN2570793Y

公开(公告)日：2003-09-03

申请号：CN02266744.X

申请日：2002-08-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 王钻开 ,  陆德仁 ,  黄全平

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。