公开(公告)号：CN100552453C

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200710038123.4

申请日：2007-03-16

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 车录锋 ,  徐玮鹤 ,  熊斌 ,  戈肖鸿 ,  王跃林

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在与弹性梁平行的质量块顶端或底端侧面，另一端连接到与弹性梁垂直的外部支撑框架内侧面。本发明提供的对称直梁结构电容式加速度传感器可以在显著减小横向效应的同时提高灵敏度，采用微电子机械系统工艺制作，是一种高性能的微机械加速度传感器。

公开(公告)号：CN101038298A

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200710038123.4

申请日：2007-03-16

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 车录锋 ,  徐玮鹤 ,  熊斌 ,  戈肖鸿 ,  王跃林

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在与弹性梁平行的质量块顶端或底端侧面，另一端连接到与弹性梁垂直的外部支撑框架内侧面。本发明提供的对称直梁结构电容式加速度传感器可以在显著减小横向效应的同时提高灵敏度，采用微电子机械系统工艺制作，是一种高性能的微机械加速度传感器。