-
公开(公告)号：CN109755847B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201811609788.0
申请日：2018-12-27
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明公开了一种超短激光脉冲串的产生方法，通过对包括多个具有啁啾特性的子脉冲的激光脉冲串进行拍频，得到包括多个具有准正弦调制特性的微脉冲的超短激光脉冲串，通过调整优化多个子脉冲的时间间隔，最终产生的超短激光脉冲串可以实现堆叠效果，以此驱动光阴极电子枪产生相应的电子束团。本发明提供的技术方案能够有效降低单个微脉冲内的电荷量，从而有效降低空间电荷排斥力而获得短长度的微脉冲，能够有效降低电子束团长度，进而提高电子束团的群聚因子，相应的有效提高太赫兹相干辐射功率。
-
公开(公告)号：CN109374595B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201811520171.1
申请日：2018-12-12
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N21/66 , G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供的一种超快脉冲辐解的探测系统，通过电子枪产生大电荷量的电子束团，再通过加速装置进行加速和相位压缩，有效地对大电荷量电子束团进行束团长度压缩，其脉冲宽度可至飞秒量级，有效实现超快脉冲辐解。同时，由于电子束团具有短束团大电荷量的特点，且束团长度与太赫兹波长相当，可在太赫兹波长范围内实现相干辐射，大大提高太赫兹辐射功率，从而提高探测效率。此外，由于用于泵浦的第二电子束团和用于探测的太赫兹光基于同源电子束，可以实现完全同步和精确时间调节的泵浦探测。
-
公开(公告)号：CN109374595A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811520171.1
申请日：2018-12-12
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N21/66 , G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供的一种超快脉冲辐解的探测系统，通过电子枪产生大电荷量的电子束团，再通过加速装置进行加速和相位压缩，有效地对大电荷量电子束团进行束团长度压缩，其脉冲宽度可至飞秒量级，有效实现超快脉冲辐解。同时，由于电子束团具有短束团大电荷量的特点，且束团长度与太赫兹波长相当，可在太赫兹波长范围内实现相干辐射，大大提高太赫兹辐射功率，从而提高探测效率。此外，由于用于泵浦的第二电子束团和用于探测的太赫兹光基于同源电子束，可以实现完全同步和精确时间调节的泵浦探测。
-
公开(公告)号：CN109683424B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201811609020.3
申请日：2018-12-27
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种多频超短激光脉冲串的产生装置，通过对多路啁啾脉冲分别进行独立拍频，而形成多路分别包括多个微脉冲的超短激光脉冲串，且每一路超短激光脉冲串的微脉冲重复频率均相互独立可调；将多路超短激光脉冲串进行合束后得到包括多路分别包括多个重复频率可调的微脉冲的超短激光脉冲串的多频超短激光脉冲串。本发明提供的技术方案有效解决现有技术存在的问题，且本发明提供的产生方法更加简单。
-
公开(公告)号：CN109524342B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201811229679.6
申请日：2018-10-22
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种二维材料处理的找平装置，包括底座、第一旋转平台和用于固定目标基底的第二旋转平台；第一旋转平台可转动地设置在底座上，第二旋转平台可转动地设置在第一旋转平台上，第一旋转平台的转动轴心与第二旋转平台的转动轴心垂直，且第一旋转平台的转动轴心和第二旋转平台的转动轴心分别与底板所在平面平行。上述二维材料处理的找平装置在实际使用过程中，通过第一旋转平台和第二旋转平台在不均匀受力条件下的自主旋转实现能够自找平及完整平贴，自找平方式可靠高效，能够大大提升二维材料对准和转移的效率，并且在二维材料的定点转移和后续光刻工艺过程中，样品与衬底的平面贴合的平整度得到了有效的保证。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109586145A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811607503.X
申请日：2018-12-27
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种双色太赫兹源及其输出双色太赫兹脉冲的方法，本发明技术方案中，激光脉冲串成型模块可以基于光源模块输出的激光脉宽，形成第三激光脉冲，所述第三激光脉冲包括多个不同频率子脉冲串的超短激光脉冲串，进而可以使得太赫兹发生模块输出的双色太赫兹光是包括两个频率不同的子脉冲的双色太赫兹脉冲。
-
公开(公告)号：CN109524342A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811229679.6
申请日：2018-10-22
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种二维材料处理的找平装置，包括底座、第一旋转平台和用于固定目标基底的第二旋转平台；第一旋转平台可转动地设置在底座上，第二旋转平台可转动地设置在第一旋转平台上，第一旋转平台的转动轴心与第二旋转平台的转动轴心垂直，且第一旋转平台的转动轴心和第二旋转平台的转动轴心分别与底板所在平面平行。上述二维材料处理的找平装置在实际使用过程中，通过第一旋转平台和第二旋转平台在不均匀受力条件下的自主旋转实现能够自找平及完整平贴，自找平方式可靠高效，能够大大提升二维材料对准和转移的效率，并且在二维材料的定点转移和后续光刻工艺过程中，样品与衬底的平面贴合的平整度得到了有效的保证。
-
公开(公告)号：CN109521649A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811230466.5
申请日：2018-10-22
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种用于二维材料定点转移和对准光刻的一体化系统，包括视觉观察系统、支撑轴、光源模块、光刻模块、基片位移模块、减震底座和控制模块；通过控制模块分别控制基片位移模块和光刻模块在X轴和Y轴方向移动，同时结合显微镜模块进行观察，使承载待转移二维材料的基片和目标基底对准后，然后控制基片位移模块和/或光刻模块在Z轴方向的高度，该种系统即可应用于二维材料的定点转移也可以应用于对准光刻过程。该一体化系统完美集成了光刻和二维材料转移的功能，可以实现二维材料的定点转移和对准光刻在原位完成，避免了二维材料的定点转移和对准光刻过程存在的成本高和效率低的问题。
-
公开(公告)号：CN109586145B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201811607503.X
申请日：2018-12-27
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种双色太赫兹源及其输出双色太赫兹脉冲的方法，本发明技术方案中，激光脉冲串成型模块可以基于光源模块输出的激光脉宽，形成第三激光脉冲，所述第三激光脉冲包括多个不同频率子脉冲串的超短激光脉冲串，进而可以使得太赫兹发生模块输出的双色太赫兹光是包括两个频率不同的子脉冲的双色太赫兹脉冲。
-
公开(公告)号：CN109870423A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910179165.2
申请日：2019-03-07
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N21/3586 , G01N21/11 , G01N21/01
Abstract: 本公开提供了一种太赫兹时域光谱测量系统和方法，太赫兹时域光谱测量系统包括：太赫兹光学装置，用于产生太赫兹波，并探测得到经过与待测样品作用后的太赫兹波时域信号；腔体装置，具有用于容置所述太赫兹光学装置的容置空间；真空装置，连接所述容置空间，用于调整所述容置空间的真空度。本公开提供的太赫兹时域光谱测量系统和方法可以成功消除太赫兹时域谱测量过程中水蒸气对背底信号的干扰，且无需额外的干燥气体或干燥单元，便携性强。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.025 seconds)
