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公开(公告)号：CN110330236A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910640397.3
申请日：2019-07-16
Applicant: 中国矿业大学
IPC: C03C17/25
Abstract: 本发明公开了一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，以卤化铌前驱体和复合添加剂滴加去离子水搅拌陈化制得含铌的胶体，采用提拉镀膜法或旋涂镀膜法在基底上镀膜，退火热处理获得氧化铌薄膜。本发明使用卤化铌前驱体代替常规的铌醇盐前驱体，减少了制备的氧化铌薄膜中的碳含量，在高温条件下减少了薄膜中碳的累积问题，有利于提高薄膜的光学性能与激光损伤阈值；复合添加剂中的螯合剂改善了成膜性能，使获得的薄膜表面均匀平整，内部缺陷少；耐高温添加剂则进一步增强了薄膜的耐高温特性。最终获得了具有在高温下拥有高激光损伤阈值的薄膜，解决了常规的溶胶凝胶氧化铌薄膜在高温下无法获得高激光损伤阈值的难题。
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公开(公告)号：CN110330236B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201910640397.3
申请日：2019-07-16
Applicant: 中国矿业大学
IPC: C03C17/25
Abstract: 本发明公开了一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，以卤化铌前驱体和复合添加剂滴加去离子水搅拌陈化制得含铌的胶体，采用提拉镀膜法或旋涂镀膜法在基底上镀膜，退火热处理获得氧化铌薄膜。本发明使用卤化铌前驱体代替常规的铌醇盐前驱体，减少了制备的氧化铌薄膜中的碳含量，在高温条件下减少了薄膜中碳的累积问题，有利于提高薄膜的光学性能与激光损伤阈值；复合添加剂中的螯合剂改善了成膜性能，使获得的薄膜表面均匀平整，内部缺陷少；耐高温添加剂则进一步增强了薄膜的耐高温特性。最终获得了具有在高温下拥有高激光损伤阈值的薄膜，解决了常规的溶胶凝胶氧化铌薄膜在高温下无法获得高激光损伤阈值的难题。
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公开(公告)号：CN110512180B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201910856198.6
申请日：2019-09-11
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有高激光损伤阈值的激光薄膜的制备方法，在可牺牲性基底上采用离子束溅射技术进行二氧化硅基底的重建，然后在新建的二氧化硅基底表面沉积薄膜材料，获得相应的光学功能，最后通过水浸泡溶解的方法除去原始的可牺牲性基底，获得高阈值薄膜。本发明采用了一种重建基底的方法，避免了常规的基底对薄膜阈值的不利影响，有利于提高薄膜的抗激光损伤能力；同时，由于本发明中的最终的二氧化硅基底是重建在一种容易去除的可牺牲性基底上面，可以非常方便的将原始基底除去，而不影响最终获得的薄膜的质量及性能。该方法解决了常规的激光薄膜无法克服基底主导损伤的局限性，提高了薄膜的激光损伤阈值。
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公开(公告)号：CN110512180A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910856198.6
申请日：2019-09-11
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有高激光损伤阈值的激光薄膜的制备方法，在可牺牲性基底上采用离子束溅射技术进行二氧化硅基底的重建，然后在新建的二氧化硅基底表面沉积薄膜材料，获得相应的光学功能，最后通过水浸泡溶解的方法除去原始的可牺牲性基底，获得高阈值薄膜。本发明采用了一种重建基底的方法，避免了常规的基底对薄膜阈值的不利影响，有利于提高薄膜的抗激光损伤能力；同时，由于本发明中的最终的二氧化硅基底是重建在一种容易去除的可牺牲性基底上面，可以非常方便的将原始基底除去，而不影响最终获得的薄膜的质量及性能。该方法解决了常规的激光薄膜无法克服基底主导损伤的局限性，提高了薄膜的激光损伤阈值。
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公开(公告)号：CN102608019A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210079348.5
申请日：2012-03-23
Applicant: 中国矿业大学
IPC: G01N17/00
Abstract: 一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法，测量装置包括第一激光器，用于准直光路和协助检测损伤的第二激光器，用于对样品进行加热并可以实现温度控制的温控箱，位于温控箱内的耐高温可移动平台，在耐高温可移动平台上的待测样品。通过温控箱设定不同的温度和保温时间，对薄膜的即时损伤阈值和损伤耐久性进行评价。优点：1、解决了现有技术只能测量常温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的问题，提供了一种可以测量高温环境下激光辐照薄膜损伤阈值的装置。2、该装置测量方法简单易行，可以进行高温环境下激光辐照光学薄膜即时损伤阈值的测量，还可以对保温不同时间样品的损伤阈值进行测量，评价薄膜在高温环境下激光损伤的耐久性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102605333A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210084926.4
申请日：2012-03-28
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 一种高温环境下具有高激光损伤阈值氧化钽薄膜的制备方法，属于光学薄膜的制备方法。制备方法是：采用双离子束溅射法在洁净的基底上镀制氧化钽薄膜，然后分别采用激光预处理和退火方式对制备好的薄膜进行后处理，起到更好的修复薄膜缺陷和缓解薄膜应力的作用，制备出可以应用于高温环境下的激光薄膜。优点：1、采用了双离子束溅射的方法，制备的薄膜比较致密，改善了电子束制备方法制备的疏松薄膜易吸潮的特点，具有更好的稳定性。2、采用了激光预处理和退火相结合的方法，改善了以往只用一种方法的局限性，有利于更大限度的提升阈值。3、该方法制备的薄膜可以在最高350℃的高温环境下使用，解决了以往技术只能制备常温下使用的激光薄膜的问题。
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公开(公告)号：CN102605333B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201210084926.4
申请日：2012-03-28
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 一种高温环境下具有高激光损伤阈值氧化钽薄膜的制备方法，属于光学薄膜的制备方法。制备方法是：采用双离子束溅射法在洁净的基底上镀制氧化钽薄膜，然后分别采用激光预处理和退火方式对制备好的薄膜进行后处理，起到更好的修复薄膜缺陷和缓解薄膜应力的作用，制备出可以应用于高温环境下的激光薄膜。优点：1、采用了双离子束溅射的方法，制备的薄膜比较致密，改善了电子束制备方法制备的疏松薄膜易吸潮的特点，具有更好的稳定性。2、采用了激光预处理和退火相结合的方法，改善了以往只用一种方法的局限性，有利于更大限度的提升阈值。3、该方法制备的薄膜可以在最高350℃的高温环境下使用，解决了以往技术只能制备常温下使用的激光薄膜的问题。
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公开(公告)号：CN115032725B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210703847.0
申请日：2022-06-21
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 本发明公开了一种液态自修复高阈值激光防护膜及其制备方法，属于光学薄膜的制备方法。一方面解决以往激光防护膜阈值不高的问题，另一方面利用液体可变形的特性获得在激光损伤后能够自我修复的能力，从而可以多次可重复地抵御高能激光攻击，避免系统失效或损坏。防护膜包括基底以及容置于两片基底之间的纳米胶体复合物，两片基底之间的边缘处通过粘结剂进行封装；基底为BK7玻璃、石英或氧化铝；纳米胶体复合物包括第一原料、醇、耐高温添加剂、酸抑制剂和去离子水，第一原料为金属醇盐或金属卤化物。最终获得了具有高激光损伤阈值同时又能在激光破坏后自修复的液态薄膜，解决了常规的激光防护薄膜阈值较低且损伤一次后即失效的难题。
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公开(公告)号：CN115032725A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210703847.0
申请日：2022-06-21
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 本发明公开了一种液态自修复高阈值激光防护膜及其制备方法，属于光学薄膜的制备方法。一方面解决以往激光防护膜阈值不高的问题，另一方面利用液体可变形的特性获得在激光损伤后能够自我修复的能力，从而可以多次可重复地抵御高能激光攻击，避免系统失效或损坏。防护膜包括基底以及容置于两片基底之间的纳米胶体复合物，两片基底之间的边缘处通过粘结剂进行封装；基底为BK7玻璃、石英或氧化铝；纳米胶体复合物包括第一原料、醇、耐高温添加剂、酸抑制剂和去离子水，第一原料为金属醇盐或金属卤化物。最终获得了具有高激光损伤阈值同时又能在激光破坏后自修复的液态薄膜，解决了常规的激光防护薄膜阈值较低且损伤一次后即失效的难题。
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公开(公告)号：CN202502035U
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201220113289.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 中国矿业大学
IPC: G01N17/00
Abstract: 一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置，包括计算机、第一激光器、反射镜、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、能量计、聚焦透镜、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台和温控箱，通过温控箱设定不同的温度和保温时间，对薄膜的即时损伤阈值和损伤耐久性进行评价。解决了现有技术只能测量常温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的问题，提供了一种可以测量高温环境下激光辐照薄膜损伤阈值的装置。其结构简单易行，可进行高温环境下激光辐照光学薄膜即时损伤阈值的测量，还可对保温不同时间样品的损伤阈值进行测量，评价薄膜在高温环境下激光损伤的耐久性。
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