公开(公告)号：CN108369909A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680073889.3

申请日：2016-12-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 保坂勇贵 ,  梅泽义弘 ,  中岛俊希 ,  宇田真代

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H05H1/46

Abstract: 等离子体处理装置(10)包括：隔挡件(61)、遮闭件(62)和驱动装置(70)。隔挡件(61)为圆筒形，在侧壁形成有多个贯通孔(61h)。遮闭件(62)为圆筒形，在隔挡件(61)的轴向上沿隔挡件(61)的侧壁可移动地设置于隔挡件(61)的周围。驱动装置(70)使遮闭件(62)沿隔挡件(61)的侧壁移动。多个贯通孔(61h)以遮闭件(62)越向下方移动，与遮闭件(62)的移动量对应的、没有被遮闭件(62)覆盖的合成传导率的变化量越增加的方式配置于隔挡件(61)的侧壁。

公开(公告)号：CN111801990A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201980013656.8

申请日：2019-06-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  梅泽义弘 ,  冈信介

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序。测量部通过加热器控制部来控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定，测量等离子体没有点火的未点火状态和从点火等离子体起向加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力。参数计算部使用由测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，该计算模型包括该热输入量作为参数来计算过渡状态的供给电力。输出部输出基于由参数计算部计算出的热输入量的信息。

公开(公告)号：CN108369909B

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN201680073889.3

申请日：2016-12-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 保坂勇贵 ,  梅泽义弘 ,  中岛俊希 ,  宇田真代

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

Abstract: 等离子体处理装置(10)包括：隔挡件(61)、遮闭件(62)和驱动装置(70)。隔挡件(61)为圆筒形，在侧壁形成有多个贯通孔(61h)。遮闭件(62)为圆筒形，在隔挡件(61)的轴向上沿隔挡件(61)的侧壁可移动地设置于隔挡件(61)的周围。驱动装置(70)使遮闭件(62)沿隔挡件(61)的侧壁移动。多个贯通孔(61h)以遮闭件(62)越向下方移动，与遮闭件(62)的移动量对应的、没有被遮闭件(62)覆盖的的合成传导率的变化量越增加的方式配置于隔挡件(61)的侧壁。

公开(公告)号：CN113889392A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202110710451.4

申请日：2021-06-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 齐藤武尚 ,  梅泽义弘 ,  藤原直树

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置。等离子体处理装置具备的天线由导电性的材料形为线状，且隔着电介质窗设置于腔室的上方。天线通过向腔室内辐射RF电力来在腔室内生成等离子体。构成天线的线路的两端开放，从电力供给部向线路的中点附近供电，该天线在线路的中点附近被接地，该天线以从电力供给部供给的RF波电力的1/2波长进行谐振。天线的第一部分与电介质窗的下表面之间的距离、以及天线的第二部分与电介质窗的下表面的距离比天线的中间部分与电介质窗的下表面之间的距离长，第一部分是天线的从的第一端部起的第一距离的范围的部分，第二部分是天线的从第二端部起的第二距离的范围的部分，中间部分是天线的第一部分与第二部分之间的部分。

公开(公告)号：CN117238742A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202311155125.7

申请日：2019-06-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  梅泽义弘 ,  冈信介

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/00 ,  H05H1/46 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及程序。测量部通过加热器控制部来控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定，测量等离子体没有点火的未点火状态和等离子体点火后的点火状态下的供给电力。参数计算部将来自等离子体的热输入量作为参数，使用由测量部测量出的未点火状态和点火状态的供给电力来计算该热输入量。输出部输出基于由参数计算部计算出的热输入量的信息。

公开(公告)号：CN111801990B

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN201980013656.8

申请日：2019-06-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  梅泽义弘 ,  冈信介

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序。测量部通过加热器控制部来控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定，测量等离子体没有点火的未点火状态和从点火等离子体起向加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力。参数计算部使用由测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，该计算模型包括该热输入量作为参数来计算过渡状态的供给电力。输出部输出基于由参数计算部计算出的热输入量的信息。