临时粘接用粘合剂、粘合剂层、晶片加工体及使用其的半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN110734736A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201911051970.3

    申请日:2015-08-05

    Abstract: 本申请涉及临时粘接用粘合剂、粘合剂层、晶片加工体及使用其的半导体器件的制造方法。本发明提供临时粘接用粘合剂、和使用其的半导体器件的制造方法,所述临时粘接用粘合剂的耐热性优异,能够利用1种粘合剂层将半导体电路形成基板与支承基板粘接,即使经过半导体器件等的制造工序、粘合力也不发生变化,并且之后能于室温以温和的条件进行剥离。本发明为临时粘接用粘合剂,其特征在于,其为下述聚酰亚胺共聚物,所述聚酰亚胺共聚物至少具有酸二酐残基和二胺残基,在二胺残基中包含(A1)以通式(1)表示且n为1以上15以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基、及(B1)以通式(1)表示且n为16以上100以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基这两者。

    正型感光性树脂组合物
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101611350A

    公开(公告)日:2009-12-23

    申请号:CN200880004802.2

    申请日:2008-02-05

    Abstract: 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)~(2)中,R1和R2分别可以相同或不同,表示碳原子数为2以上的2价~8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同,表示氢或碳原子数为1~20的1价有机基团。通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚合物的末端基团,R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2~30的1价有机基团。n表示10~100,000的范围,l和m表示0~2的整数,p和q表示0~4的整数。其中p+q>0。

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