公开(公告)号：CN102967266A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210067026.9

申请日：2012-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  田嶋久容 ,  小山恭史 ,  滨川直良 ,  水原正志

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

公开(公告)号：CN102967266B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201210067026.9

申请日：2012-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  田嶋久容 ,  小山恭史 ,  滨川直良 ,  水原正志

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。