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公开(公告)号：CN103301998B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201310066873.8
申请日：2013-03-04
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，对被输送的基板进行涂布，通过简单的结构提高由传感器测量的喷嘴的宽度方向两端部的高度位置的测量精度，该涂布装置，包括：输送机构部（2），将基板（W）向水平的输送方向输送；涂布机构部（3），包括喷嘴（30），所述喷嘴在宽度方向上较长且与被输送的基板相对应；传感器（7），为了调节相对于水平面的喷嘴的姿势而测量该喷嘴的宽度方向两端部（35）的高度位置；其中，输送机构部包括：轨道（21），向输送方向延伸；基座部件（23），沿着该轨道移动；吸附机构（25），搭载于所述基座部件上，在输送基板时支撑基板的宽度方向两端部（E），传感器与吸附机构一同搭载于基座部件上。
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公开(公告)号：CN103112719B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201210405499.5
申请日：2012-10-23
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种浮起输送装置，对基板输送所伴随的浮起环境变化能够迅速响应，并且能够将基板以规定的浮起高度输送，该装置包括：浮起平台(10)，具有在基板的输送方向上排列有多个喷出口(11)和多个吸引口(12)的表面；吸引力供给装置(30)；主配管(13)，与吸引力供给装置连通；分歧配管(15)，与主配管连通，并且与各个吸引口连通；压差阻尼器(20)，设置在主配管的中途部分，其中，压差阻尼器具有连通主配管内部和外部气体的路径的多歧管(21)以及阻断该路径的阀(22)，阀通过主配管内外气体之间的压差对该阀施加的外力进行开启和关闭的动作，并通过响应压差变化阀进行动作而其开启度发生变化，由此保持规定的压差。
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公开(公告)号：CN105562299A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510726032.4
申请日：2015-10-30
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B05C11/10
CPC classification number: B05C11/1002
Abstract: 本发明提供一种涂布液泵单元以及涂布装置，即使是在基板上形成薄膜的情况下也能够抑制横向不匀的产生。涂布液泵单元对涂布装置的涂布单元供给涂布液，所述涂布装置使基板和所述涂布单元相对移动而在基板上形成涂布膜，所述涂布液泵单元的特征在于，在所述涂布液泵单元中，供给涂布液的泵主体、对该泵主体传递驱动力的滚珠丝杠驱动部以及产生驱动力的电动机部按上述顺序配置在同一轴上，在所述电动机部与所述滚珠丝杠驱动部之间设置有行星辊减速器。
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公开(公告)号：CN102205297A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110074994.8
申请日：2011-03-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供输送装置及涂布系统，能够将浮起的基板牢固地保持，并且将被保持的基板通过简单的结构使其整体变为平坦。其中，输送基板(W)的输送装置(40)包括：浮起载物台(1)，将基板浮起；吸附机构(3)，吸附被浮起的基板侧部底面(9)；输送驱动装置，通过移动吸附机构，将吸附机构所吸附的基板以浮起至规定高度(h)的状态输送。吸附机构包括：阻挡器(10)，具有接触面(11)，通过使基板侧部底面接触，使所述基板侧部定位在所述规定高度上；吸附垫(20)，能够吸附基板侧部底面，在吸附之前突出至接触面之上规定尺寸(S)，吸附之后向下收缩规定尺寸(S)。
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公开(公告)号：CN108701635A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: B65G49/06 , B05C13/02 , G02F1/13 , H01L21/027 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103579062B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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公开(公告)号：CN104649015A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410639844.0
申请日：2014-11-13
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G54/00
CPC classification number: B65G49/065
Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置，该基板浮起装置能够始终使基板以一定的浮起高度浮起。基板浮起装置(1)具有：浮起板(10)，其具有多个喷出口(11)和抽吸口(12)；正压供给源(20)，其对喷出口(11)供给气体；正压配管(21)，其连接喷出口(11)和正压供给源(20)；负压供给源(30)，其对抽吸口(12)供给抽吸力；以及负压配管(31)，其连接抽吸口(12)和负压供给源(30)，其中，在正压配管(21)和负压配管(31)上设置有缓冲罐(24)和缓冲罐(34)。
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公开(公告)号：CN108701635B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN103662694B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201310372965.9
申请日：2013-08-23
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G35/00
Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。
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公开(公告)号：CN106066119A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610144602.3
申请日：2016-03-14
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: F26B9/06 , F26B23/06 , F26B25/008
Abstract: 本发明提供一种加热干燥装置，该装置能够抑制附着在腔室部内壁的升华物等混入到涂布膜中，从而能够减少腔室部的清洗作业的频率。该装置包括：腔室部，用于容纳基板；加热器部，用于加热形成在基板上的涂布膜；排气部，用于排出腔室部内的气体，该加热干燥装置在排出腔室部内气体的同时，对放置在腔室部内的基板上的涂布膜进行加热并干燥，其中，在与所放置的基板相对的对置壁上、至少与整个基板表面相对的区域中，设置有用来在其表面形成空气层的多孔质部。
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