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公开(公告)号：CN106684014B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201610579895.8
申请日：2016-07-21
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
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公开(公告)号：CN102806179B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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公开(公告)号：CN101363681A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810146138.7
申请日：2008-08-06
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 奥田大辅
Abstract: 本发明提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。所述减压干燥装置具备相对于基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内，收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，以在与相邻边缘部交叉的方向上延伸的方式焊接加强肋。
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公开(公告)号：CN103832826B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201310584960.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/00
Abstract: 提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
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公开(公告)号：CN103240215A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310046137.6
申请日：2013-02-05
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101829647A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010119055.6
申请日：2010-03-08
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 奥田大辅
IPC: B05D3/00
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，该装置能够抑制形成于基板涂布膜上的干燥不匀。该减压干燥装置包括：容纳部，用于容纳基板；基板保持部，用于将基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部保持的基板中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，其具有沿着由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，且沿着所述基板的外周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口与环状吸引口的连通连接，在所述排气口产生吸引力时，容纳部的大气通过所述开口部而从排气口排出。
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公开(公告)号：CN106684014A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201610579895.8
申请日：2016-07-21
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/67703
Abstract: 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
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公开(公告)号：CN103240215B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310046137.6
申请日：2013-02-05
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。
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公开(公告)号：CN102806179A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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公开(公告)号：CN101363681B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810146138.7
申请日：2008-08-06
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 奥田大辅
Abstract: 本发明提供一种能够通过抑制腔盖部的焊接部分的剥离等的产生来抑制生产不合格基板的减压干燥装置。所述减压干燥装置具备相对于基板载置部可相对地接触分离的腔盖部，通过在由该基板载置部和腔盖部形成的基板收纳部内收纳有涂敷了涂敷液的基板的状态下，使上述基板收纳部内减压，从而使上述涂敷液干燥，上述腔盖部与上述基板载置部面对，并且具有具备4个边缘部的四边形状，在与基板载置部侧相反一侧的外表面上，以在与相邻边缘部交叉的方向上延伸的方式焊接加强肋。
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