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公开(公告)号：CN103240215A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310046137.6
申请日：2013-02-05
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。
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公开(公告)号：CN102806179B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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公开(公告)号：CN102189064A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110042101.1
申请日：2011-02-22
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，其中能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，通过该残余量检测装置，当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时，进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。
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公开(公告)号：CN102437076B
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201110277138.2
申请日：2011-09-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G51/03
Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。
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公开(公告)号：CN102189064B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110042101.1
申请日：2011-02-22
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，其中能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，通过该残余量检测装置，当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时，进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103579062B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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公开(公告)号：CN102437076A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110277138.2
申请日：2011-09-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G51/03
Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。
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公开(公告)号：CN103240215B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310046137.6
申请日：2013-02-05
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。
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公开(公告)号：CN103579062A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67742 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/6838 , H01L2221/68363
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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公开(公告)号：CN102806179A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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