公开(公告)号：CN107017176B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201710001539.2

申请日：2017-01-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 普罗托波波夫·弗拉基米尔 ,  黄基镐 ,  成德镛 ,  吴世真 ,  印杰 ,  张圣虎 ,  全允珖

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明可提供一种用于监视处理室的内部的设备，所述设备包括：处理室，其包括室主体和限定在室主体中的观察口；盖部分，其在一端包括针孔，所述盖部分布置为对应于观察口的端部，所述盖部分在朝着处理室的中心的方向上具有第一长度；以及感测单元，其插入观察口中以通过针孔监视处理室的内部，基于所述第一长度来确定处理室中将通过感测单元感测的区。

公开(公告)号：CN107017176A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201710001539.2

申请日：2017-01-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 普罗托波波夫·弗拉基米尔 ,  黄基镐 ,  成德镛 ,  吴世真 ,  印杰 ,  张圣虎 ,  全允珖

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32972 ,  H04N5/2252 ,  H01L22/26 ,  H01J37/32917 ,  H01L22/10

Abstract: 本发明可提供一种用于监视处理室的内部的设备，所述设备包括：处理室，其包括室主体和限定在室主体中的观察口；盖部分，其在一端包括针孔，所述盖部分布置为对应于观察口的端部，所述盖部分在朝着处理室的中心的方向上具有第一长度；以及感测单元，其插入观察口中以通过针孔监视处理室的内部，基于所述第一长度来确定处理室中将通过感测单元感测的区。