半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1652324A

    公开(公告)日:2005-08-10

    申请号:CN200510008217.8

    申请日:2005-02-06

    Inventor: 金相洙 金炳善

    CPC classification number: H01L27/11526 H01L27/105 H01L27/11546

    Abstract: 一种制造具有非易失性存储单元的半导体器件的方法,其包括形成作为存储单元的最上面/最外面部分的绝缘层,以提高存储单元的充电保持能力。绝缘层是在非易失性存储单元的栅极结构和栅极间电介质,以及逻辑晶体管的栅极形成之后形成的。因此,绝缘层增强了栅极间电介质的功能。接下来,在衬底上,包括在逻辑晶体管的栅极的上方形成导电层。之后,在逻辑晶体管的栅极上以及与栅极的相对侧相邻的衬底上形成硅化物层。因此,所述绝缘层还用于防止在该非易失性存储单元上的硅化物层的形成。

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