-
公开(公告)号:CN1266204A
公开(公告)日:2000-09-13
申请号:CN00106506.8
申请日:2000-02-19
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01S5/18388 , G02B3/00 , H01S5/0207 , H01S5/18311
Abstract: 一种微透镜,通过利用具有用来限定半导体元件上的成为微透镜的凸形表面的开口的蚀刻掩模,在化学蚀刻溶液中蚀刻半导体元件形成,所述溶液含有能对半导体进行限制扩散蚀刻的蚀刻剂;和一种微透镜和垂直空腔表面辐射激光器(VCSEL)的组合,其中微透镜形成在由限制扩散蚀刻的激光辐射表面的窗口区域上。
-