公开(公告)号：CN107454732A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710340216.6

申请日：2017-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李永光 ,  朴龙均 ,  李东洙 ,  李尚宪

IPC: H05H1/46 ,  H01Q1/22 ,  H01Q7/00

Abstract: 发明构思的实施方式提供一种天线、包括天线的微波等离子体源、包括天线的等离子体处理装置以及半导体器件的制造方法。天线包括具有多个输出狭缝的下环以及设置在下环上的上环。上环具有从上环外部传送微波功率到下环上的输入狭缝。上环配置为关于下环旋转。

公开(公告)号：CN109698109A

公开(公告)日：2019-04-30

申请号：CN201811228077.9

申请日：2018-10-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李永光 ,  姜姓佶 ,  南象基 ,  许桄熀 ,  韩奎熙

IPC: H01J37/32

Abstract: 腔室具有上壳体和下壳体并接收反应气体。第一等离子体源包括电子束源，电子束源将电子束提供到上壳体中以产生上部等离子体。第二等离子体源包括孔，孔在连接上壳体和下壳体的孔内产生下部等离子体。上部等离子体的自由基、下部等离子体的自由基和下部等离子体的离子通过所述孔被提供到下壳体，使得下壳体具有离子与自由基在浓度上的预定比率的自由基和离子。第二等离子体源将腔室分成上壳体和下壳体。晶片卡盘位于下壳体中以接收晶片。

公开(公告)号：CN107454732B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201710340216.6

申请日：2017-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李永光 ,  朴龙均 ,  李东洙 ,  李尚宪

IPC: H05H1/46 ,  H01Q1/22 ,  H01Q7/00

Abstract: 发明构思的实施方式提供一种天线、包括天线的微波等离子体源、包括天线的等离子体处理装置以及半导体器件的制造方法。天线包括具有多个输出狭缝的下环以及设置在下环上的上环。上环具有从上环外部传送微波功率到下环上的输入狭缝。上环配置为关于下环旋转。

公开(公告)号：CN109698109B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN201811228077.9

申请日：2018-10-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李永光 ,  姜姓佶 ,  南象基 ,  许桄熀 ,  韩奎熙

IPC: H01J37/32

Abstract: 腔室具有上壳体和下壳体并接收反应气体。第一等离子体源包括电子束源，电子束源将电子束提供到上壳体中以产生上部等离子体。第二等离子体源包括孔，孔在连接上壳体和下壳体的孔内产生下部等离子体。上部等离子体的自由基、下部等离子体的自由基和下部等离子体的离子通过所述孔被提供到下壳体，使得下壳体具有离子与自由基在浓度上的预定比率的自由基和离子。第二等离子体源将腔室分成上壳体和下壳体。晶片卡盘位于下壳体中以接收晶片。