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公开(公告)号：CN107454732B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201710340216.6
申请日：2017-05-15
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 李永光 , 朴龙均 , 李东洙 , 李尚宪
IPC: H05H1/46 , H01Q1/22 , H01Q7/00
Abstract: 发明构思的实施方式提供一种天线、包括天线的微波等离子体源、包括天线的等离子体处理装置以及半导体器件的制造方法。天线包括具有多个输出狭缝的下环以及设置在下环上的上环。上环具有从上环外部传送微波功率到下环上的输入狭缝。上环配置为关于下环旋转。
公开(公告)号：CN107454732A
公开(公告)日：2017-12-08
