公开(公告)号：CN101545136B

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN200810185914.4

申请日：2008-12-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔濬熙 ,  朴性秀 ,  安德雷·朱尔卡尼夫 ,  韩在镕 ,  郑得锡

IPC: H01L21/04

CPC classification number: C30B35/00 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/02606 ,  H01L33/007 ,  H01L33/18 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种微加热器阵列和包括微加热器阵列的PN结器件及其制造方法。本发明包括：包括在衬底上彼此垂直或平行设置的第一微加热器和第二微加热器的微加热器阵列；以及利用当将电压施加到微加热器阵列时分别从第一加热部分和第二加热部分产生的热在第一加热部分与第二加热部分之间制造PN结的方法。因此，当使用微加热器形成PN结时，可以在玻璃衬底上的大面积内制造高质量的PN结。

公开(公告)号：CN101545136A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200810185914.4

申请日：2008-12-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔濬熙 ,  朴性秀 ,  安德雷·朱尔卡尼夫 ,  韩在镕 ,  郑得锡

IPC: C30B25/10 ,  H01L21/04 ,  H01L21/205

CPC classification number: C30B35/00 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/02606 ,  H01L33/007 ,  H01L33/18 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种微加热器阵列和包括微加热器阵列的PN结器件及其制造方法。本发明包括：包括在衬底上彼此垂直或平行设置的第一微加热器和第二微加热器的微加热器阵列；以及利用当将电压施加到微加热器阵列时分别从第一加热部分和第二加热部分产生的热在第一加热部分与第二加热部分之间制造PN结的方法。因此，当使用微加热器形成PN结时，可以在玻璃衬底上的大面积内制造高质量的PN结。