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公开(公告)号:CN105428515B
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201510440995.8
申请日:2015-07-24
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了热电元件和包括热电元件的半导体装置。热电元件提供如下。第一半导体鳍结构和第二半导体鳍结构设置在半导体基底上。每个半导体鳍结构沿第一方向延伸,从半导体基底突出。第一半导体纳米线和第二半导体纳米线分别设置在第一半导体鳍结构和第二半导体鳍结构上。第一半导体纳米线包括第一杂质。第二半导体纳米线包括与第一杂质不同的第二杂质。第一电极连接到第一半导体纳米线的第一端和第二半导体纳米线的第一端。第二电极连接到第一半导体纳米线的第二端。第三电极连接到第二半导体纳米线的第二端。
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公开(公告)号:CN108075744B
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN201710865069.4
申请日:2017-09-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供薄膜体声波谐振振荡器和气体感测系统及其操作方法。可以包括在气体感测系统中的谐振振荡器可以包括可以通过导线电连接到外部谐振器的振荡器。振荡器可以产生具有与振荡路径中的外部谐振器的谐振频率对应的频率的振荡信号。振荡路径上的虚谐振去除电路可以从振荡路径去除由导线引起的虚谐振。气体感测系统可以包括:振荡器;谐振器,包括被配置为感测气体的传感器;频率计数逻辑,接收振荡信号和参考时钟信号,根据参考时钟信号的逻辑状态对振荡信号执行计数操作以产生计数值,并基于计数值产生指示感测气体的气体感测输出。
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公开(公告)号:CN116009431A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202211028406.1
申请日:2022-08-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G05B19/042 , H03M1/66
Abstract: 提供了一种监视电路和工艺特性监视方法。该监视电路包括:传感器电路,其具有多个装置和选择电路,选择电路选择多个装置之中的要被监视的装置;输入电路,其基于输入数字数据将第一信号施加到要被监视的装置;以及输出电路,其基于由传感器电路生成的第二信号生成输出数字数据。输入电路包括数模转换器,并且输出电路包括模数转换器。
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公开(公告)号:CN108075744A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201710865069.4
申请日:2017-09-22
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H03B1/04 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/2437 , G01N29/32 , G01N29/4427 , G01N29/4463 , G01N2291/014 , G01N2291/021 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , H03B5/24 , H03B5/326 , H03B5/364 , H03H9/02007 , H03K21/026 , H03H9/171 , G01N27/00
Abstract: 提供薄膜体声波谐振振荡器和气体感测系统及其操作方法。可以包括在气体感测系统中的谐振振荡器可以包括可以通过导线电连接到外部谐振器的振荡器。振荡器可以产生具有与振荡路径中的外部谐振器的谐振频率对应的频率的振荡信号。振荡路径上的虚谐振去除电路可以从振荡路径去除由导线引起的虚谐振。气体感测系统可以包括:振荡器;谐振器,包括被配置为感测气体的传感器;频率计数逻辑,接收振荡信号和参考时钟信号,根据参考时钟信号的逻辑状态对振荡信号执行计数操作以产生计数值,并基于计数值产生指示感测气体的气体感测输出。
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公开(公告)号:CN105428515A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201510440995.8
申请日:2015-07-24
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了热电元件和包括热电元件的半导体装置。热电元件提供如下。第一半导体鳍结构和第二半导体鳍结构设置在半导体基底上。每个半导体鳍结构沿第一方向延伸,从半导体基底突出。第一半导体纳米线和第二半导体纳米线分别设置在第一半导体鳍结构和第二半导体鳍结构上。第一半导体纳米线包括第一杂质。第二半导体纳米线包括与第一杂质不同的第二杂质。第一电极连接到第一半导体纳米线的第一端和第二半导体纳米线的第一端。第二电极连接到第一半导体纳米线的第二端。第三电极连接到第二半导体纳米线的第二端。
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