薄膜体声波谐振振荡器和气体感测系统及其操作方法

    公开(公告)号:CN108075744B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201710865069.4

    申请日:2017-09-22

    Abstract: 提供薄膜体声波谐振振荡器和气体感测系统及其操作方法。可以包括在气体感测系统中的谐振振荡器可以包括可以通过导线电连接到外部谐振器的振荡器。振荡器可以产生具有与振荡路径中的外部谐振器的谐振频率对应的频率的振荡信号。振荡路径上的虚谐振去除电路可以从振荡路径去除由导线引起的虚谐振。气体感测系统可以包括:振荡器;谐振器,包括被配置为感测气体的传感器;频率计数逻辑,接收振荡信号和参考时钟信号,根据参考时钟信号的逻辑状态对振荡信号执行计数操作以产生计数值,并基于计数值产生指示感测气体的气体感测输出。

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