公开(公告)号：CN114293150A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202110939105.3

申请日：2021-08-16

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 郑和平 ,  徐敏逵 ,  姜有珍 ,  尹钟建 ,  程相慜 ,  洪锡俊

IPC: C23C14/26

Abstract: 一实施例的沉积源包括沉积模块以及收纳沉积模块的壳体，沉积模块包括：第一坩埚，沿着第一方向延伸，并且在内部空间收纳沉积物质；多个喷嘴，配置在第一坩埚上，并且沿着第一方向排列多个喷嘴；发热部件，收纳第一坩埚；以及辐射热防止部件，配置在发热部件的上表面、外侧面和下表面上，辐射热防止部件包括多个反射器以及分别连接多个反射器之中的相邻的反射器之间的多个销，多个销被配置成在平面上彼此错开。本发明的沉积源防止在沉积源内产生的热朝向沉积源的外部的损失或散出，从而提供一种在高温环境下提高了可靠性的沉积源。

公开(公告)号：CN119465039A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202410990632.0

申请日：2024-07-23

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 郑和平 ,  徐敏逵 ,  程相慜 ,  朴简永 ,  尹钟建 ,  李京员

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04 ,  H10K71/16 ,  H10K71/60

Abstract: 本申请涉及显示设备制造装置和沉积模块。显示设备制造装置包括：掩模组件；以及沉积模块，配置为朝向掩模组件提供沉积材料。沉积模块包括沉积框架、喷射部分、加热器和紧密接触部分。沉积框架具有内部空间。喷射部分包括坩埚部分和喷嘴部分。加热器加热喷嘴部分，并且配置为能够在第一状态和第二状态之间切换，第二状态的热值高于第一状态的热值。紧密接触部分使坩埚部分和喷嘴部分彼此紧密接触，并且紧密接触部分包括在第一状态中与喷射部分间隔开并且配置为在第二状态中按压在喷射部分上的按压表面。