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一种液氦充装系统及方法
Abstract:
本申请涉及一种液氦充装系统及方法,高纯氦气充装:液氦槽车的液氦进入第一汽化器,待氦气纯度合格之后,通过缓冲罐、第一隔膜压缩机机组和第一充装排进行高纯氦气充装,高纯氦气充装完毕后,第一充装排残余氦气进入液氦槽车;液氦充装与氦气回收:液氦槽车的液氦进入液氦杜瓦瓶进行液充装,空气和含有液氦的氦气进入第二汽化器形成工业氦气,工业氦气进入气囊、第二个膜压缩机机组和第二充装排进行充装回收,待氦气纯度合格之后,通过第一充装排/第二充装排充装高纯氦气。本申请提供的液氦充装系统及方法系统可以提高液氦的充装效率,还可以在一套装置中实现氦气液氦的同时充装和工业氦气的回收。
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