Invention Publication
- Patent Title: 投影物镜系统
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Application No.: CN202111483415.5Application Date: 2021-12-07
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Publication No.: CN114019661APublication Date: 2022-02-08
- Inventor: 夏智锋 , 张志清 , 古志良 , 许毅钦 , 邢景超 , 李鸿 , 陈博谦 , 陈志涛 , 赵维
- Applicant: 广东省科学院半导体研究所
- Applicant Address: 广东省广州市天河区长兴路363号
- Assignee: 广东省科学院半导体研究所
- Current Assignee: 粤科光智(广州)科技有限公司
- Current Assignee Address: 510030 广东省广州市越秀区环市中路311-1号302房
- Agency: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- Agent 戴尧罡
- Main IPC: G02B13/00
- IPC: G02B13/00

Abstract:
本发明的实施例提供了一种投影物镜系统,涉及光学器件技术领域,该投影物镜系统包括沿光路设置第一透镜群组、光阑、第二透镜群组以及分光器,从而构成了物镜系统本体,第一透镜群组的焦距f1与物镜系统本体的焦距f之比在22到23之间,且第二透镜群组的焦距f2与物镜系统本体的焦距f之比在2到3之间。通过对第一透镜群组和第二透镜群组的焦距比例进行限定,使得镜头成像质量更好,具体通过光学设计提高相对孔径值的同时,又能保证成像质量,对亮度有不少的提升。相较于现有技术,本发明结构精简,对物镜系统参数做出有效改进,以达到更小的畸变,更均匀的光场分布,更清晰的画质,同时物镜系统稳定,像差平衡优异,公差合理。
Public/Granted literature
- CN114019661B 投影物镜系统 Public/Granted day:2023-09-26
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